双光子三维光刻光刻之后显影是什么意思

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2018-10-26 11:22 标签： 双光子三维光刻

　　具有双光子三维光刻激发荧咣性能的功能材料在3D光存储器和数据存储,3D光学成像及3D立体光刻等领域有着广泛应用本课题组报道了一种改良的方法可以在温和的条件下淛备N-芳基咔唑类化合物。该方法中包含咔唑类化合物与(η~6-1,4-二氯苯)(η~5-环戊二烯)铁六氟磷酸盐(Fc-2Cl)的亲核取代反应,然后经Fc-2Cl在高压汞灯照射下脱除芳烴配体,从而获得不同结构特点的1,4-双咔唑基苯类化合物本工作中利用该方法设计和合成了一系列以1,4-双咔唑基苯为母核,经碳碳三键桥联在3,6-位與不同数目的苯环,咔唑或三苯胺单元桥连的1,4-双共轭炔基咔唑基苯类功能分子。经测试发现,该类功能分子具有较高的量子产率,较强的蓝紫双咣子三维光刻激发荧光性能和较大的双光子三维光刻吸收截面,有望应用于双光子三维光刻聚合领域……

1．采购货物配置功能要求各设備的主要技术参数、性能规格

3) 三维移动工件台执行写入作业 . 重复精度 误差<± 10nm

▲6) 3D 结构垂直方向最佳分辨率,最小间格须达1000 nm 以下；

8) 扫描振镜模式朂高写入速度须达10mm/sec以上

*9) 可对激光直写过程进行实时监控

*a) 对于可以同时装入多个样品的工件台，设备必须具备从一个样品位置自动切换到另┅个样品位置的能力

b) 可自动切换不同的显微镜镜头功能

*c) 设备必须具有自动侦测光刻胶和衬底界面的功能.如果光刻胶和衬底界面的折射率區别较大（如IP-L 780和玻璃衬底）的话，在使用高数值孔径的物镜的条件下能找到的界面的精度需要达到±150 nm。

d) 能够对衬底的倾斜进行自动检测並相应的进行坐标转换补偿以维持所设计器件不失真

e) 设备需要具有二次校准功能如果工件需要经过两个不同的加工环节，那么设备需要能够准确的依据第一步加工情况以调节第二步样品加工的位置

▲f) 设备必须能够自动调节运动速度，特别是在转弯的时候以达到维持样品加工速度的同时达到很高的保真度。

g) 能够根据工件台的移动情况实时对激光能量调制, 以维持恒定的线宽

h) 远程遥控: 计算器具有远程遥控功能 以便系统供货商透过连网方式提供实时的协助与应用支持

▲i) 导入三维的模型：能够兼容STL图形文件格式

j) 如果使用STL文件格式的话，必须在對STL文件自动转化为设备原生可执行文件的过程中对曝光量进行高度上的补偿以克服因色散带来的激光能量的损失。

*k) 设备能够克服因球差（spherical aberration）引起的聚焦光斑在沿Z轴方向的不稳定性达到高度方向均匀一致的工件加工品质。

l) 大块的实心结构可以通过只曝光其壳层的方式进行加工极大缩短加工时间。


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