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数字温度指示调节仪表示值误差校准不确定度的评定
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题名: 负温度系数的工业热敏电阻温度传感器测量误差的不确定度评定
作者: 崔洋
刊名: 电子测量技术
期号: 8, 页码:104-106+111关键词: 负温度系数
不确定度来源
温度传感器
中文摘要: 光刻系统内部温度等微环境参数的波动是影响成像质量的重要因素,影响光刻机最终的线宽,因此对光刻系统内温度传感器测量的不确定度有极高的要求。本文对负温度系数的热敏电阻及其R-T特性进行简介,并针对工业级热敏电阻温度传感器进行了不确定分析,分别计算了标准测温仪引入的不确定度分量、标准温度传感器引入的不确定度分量以及测量重复性引入的不确定度分量,分析得到使用的工业级热敏电阻温度传感器合成不确定度为2.178m℃,扩展不确定度为为4.356m℃,满足对光刻系统内高精度温度测量的指标要求。
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
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影像测量仪器示值误差符合评定的基本要求
&&& 国家标准的溯源性是通过一条具有规定不确定度的不间断性的比较链，使测量标准的值能够与规定的参考标准联系起来，通常是与国家计量标准或国际计量标准联系起来的特性。&&& 根据国家标准，定期重新校准，并用文件加以证明，溯源性就是建立在这一点上。溯源链校准的层次图说明了精度到测量仪的传递过程，同时也说明了他们是如何被校准的。对于每个性能质量，我们都提供了校准证书，这些都由我们受到标准服务中心正式认可的实验室颁发的。&&& Ernst Abbe是位于德国Jena的Carl Zeiss公司创立者之一，他阐明了这样一个法者：工件上被测量的长度与比较测量用的实物量具长度必须处在同意轴线上。该法则也被称为&比较器法则&。&&& 重力导致的误差，由于自身的重力，所有的工件和影像测量仪测量器具都会产生变形。采用合适的支撑（放置）的方法，有助于把重力导致的长工件的变形最小化。&&& 工作温度范围提供一个限制，在此限制内，可满足给定的最大允许误差或偏差区间。&&& 操作温度范围，在此操作温度范围内，测量仪器才会工作正常。&&& 存储温度范围，在存储温度范围内，测量仪器的存放和运输才会安全。&&& 减少测量误差的方法，建议把测量器具的显示调整置于与稍后检测工件时相同的环境下。&&& 三坐标测量仪合格判定标准；&&& 合格判据&&& 被评定测量仪器的示值误差的绝对值小于或等于最大允许误差的绝对值与示值误差的扩展不确定度之差时可判为合格。&&& 不合格判据&&& 被评定测量仪器的示值误差的绝对值大于最大允许误差的绝对值与示值误差的扩展不确定度之和时可判为不合格。&&& 待定区&&& 被评定测量仪器的示值误差既不符合合格判据又不符合不合格判据时，为处于待定区。这时不能下合格或不合格的结论。&&& 当测量仪器示值误差的评定处于不能做出符合性判定时，可以通过采用准确度高的测量标准，改善环境条件，增加测量次数和改变测量方法等措施，以降低测量不确定度评定的不确定度，使满足与最大允许误差绝对值之比小于等于1:3的要求，然后对测量仪器的示值误差重新进行评定。
(来源：苏州力高检测设备有限公司)
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色情、暴力
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测量误差产生的原因有哪些？
测量误差产生的原因：1、测量器具：测量器具设计中存在的原理误差，如杠杆机构、阿贝误差等。制造和装配过程中的误差也会引起其示值误差的产生。例如刻线尺的制造误差、量块制造与检定误差、表盘的刻制与装配偏心、光学系统的放大倍数误差、齿轮分度误差等。其中最重要的是基准件的误差，如刻线尺和量块的误差，它是测量器具误差的主要来源。2、测量方法：间接测量法中因采用近似的函数关系原理而产生的误差或多个数据经过计算后的误差累积。3、测量环境：测量环境主要包括温度、气压、湿度、振动、空气质量等因素。在一般测量过程中，温度是最重要的因素。测量温度对标准温度（+20℃）的偏离、测量过程中温度的变化以及测量器具与被测件的温差等都将产生测量误差。4、测量人员：测量人员引起的误差主要有视差、估读误差、调整误差等引起，它的大小取决于测量人员的操作技术和其它主观因素。在测量时，测量结果与实际值之间的差值叫误差。真实值或称真值是客观存在的，是在一定时间及空间条件下体现事物的真实数值，但很难确切表达。测得值是测量所得的结果。这两者之间总是或多或少存在一定的差异，就是测量误差。测量误差按其对测量结果影响的性质，可分为系统误差和偶然误差。在此模型中，块金效应等于方差 ε(s)(称作微刻度变化)加上方差 δ(s)(称作测量误差)。当不存在测量误差时，克里金法是一个精确插值器，这意味着如果在某个已采集数据的位置进行预测，那么预测值将与测量值相同。测量误差的分类：1、系统误差：相同的测量条件下，多次测取同一被测几何量的量值时，绝对值和符号均保持不变的测量误差，或者绝对值和符号按一定规律变化的测量误差。2、随机误差：随机误差是指在相同的测量条件下，多次测取同一被测几何量的量值时，绝对值和符号已不可预测的方式变化着的测量误差。3、粗大误差：粗大误差是指超出在规定测量条件下预计的测量误差，即对测量结果产生明显歪曲的测量误差。
电气工程师
一方面是由于每种仪器只具有一定限度的准确度、读数等方面都会产生误差，记得评价哦；二是仪器本身的误差）；2，观测者：由于观测者感觉器官的鉴别能力有限，所以在仪器的安置、照准、风力、大气折光等因素和变化都会对观测数据直接产生影响。欢迎采纳。同时，观测者的技术水平和工作态度，也是对观测数据质量有直接影响的重要因素；3，外界条件：观测时所处的外界条件，如温度、湿度测量误差有三个主要来源：1，测量仪器
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换一换
回答问题，赢新手礼包计量：ｗｗｗ．ｃｑｓｔｙｑ．ｃｏｍ一般压力表测量；王兰兰；邓仕奎刘晓蕾；（贵州省六盘水市质量技术监督检测所，贵州六盘水5；要：本文以一般压力表为代表，主要介绍一般压力表测；文献标识码：A；国家标准学科分类代码：470.30；关键词：一般压力表；示值误差不确定度；评定中图分；DOI：10．15988/j．cnki．1004；EvaluationofUncert
计量：ｗｗｗ．ｃｑｓｔｙｑ．ｃｏｍ一般压力表测量值的不确定度评定王兰兰摘邓仕奎刘晓蕾（贵州省六盘水市质量技术监督检测所，贵州六盘水553001）要：本文以一般压力表为代表，主要介绍一般压力表测量值的示值误差的不确定度评定。文献标识码：A国家标准学科分类代码：470.30关键词：一般压力表；示值误差不确定度；评定中图分类号：TH812DOI：10．15988/j．cnki．．9EvaluationofUncertaintyofMeasurementＲesultsonGeneralPressureGaugeWangLanlanDengShikuiLiuXiaolei1概述1.1测量依据：JJG52－96《弹性元件式一般压力表、压。力真空表和真空表》1.2环境条件：温度（20±5）℃、相对湿度：≤85%。1.3测量标准器：0.05级活塞式压力计标准装置，测量范围为（0～6）MPa的ConST273型智能数字压力校验仪。1.4被测量对象：测量范围为（0～4）MPa、准确度等级为1.6级的一般压力表。1.5测量方法：采用反校法，将一般压力表安装在校验0.05级标准器接通。加压或降台上，并与（0～6）MPa、压至被检对象整分度值处，然后读取标准器示值。2测量模型ΔP=Ps－PmMPa；式中：ΔP―一般压力表的示值误差，MPa；Pm―0.05级智能数字压力校验仪示值，Ps―一般压力表示值，MPa。3不确定度分量的评定3.1被测量仪器设备输入量重复性引入的不确定度u1（Pm）对一台性能稳定测量范围为（0～4）MPa，准确度等级为1.6级的一般压力表，在4MPa示值处进行10次重复性测量得到表1。表1次数结果，则该测量标准不确定度为：s0.012=0.007MPau1（Pm）==22有效自由度：v1（Pm）=n－1=93.2被检压力表估读引入的不确定度分量u2（Pm）根据规程规定，可估读到最小分度值的1/5，该一般压力表的最小分度值为0.05MPa，则其半宽a=0.01MPa；则该被检压力表估读引起的不确定度分量为：a0.01==0.006MPa33Δu2（Pm）=0.20，估计u2（Pm）u2（Pm）=则自由度为：v2（Pm）=123.3测量时环境温度对被测压力表引入的不确定度分量u3（Pm）根据规程，一般压力表的检定温度（20±5）℃，该温度对标准器影响包含在标准器不确定度范围内。因此仅需考虑温度环境对被检压力表的影响，温度影响所产生的Ps温度修正系数kt=0.0004MPa/℃，最大误差为kt×5×Ps，=4MPa，3，包含因子k=则：u3（Pm）=估计0.=0.0047MPa3智能数字压力校验仪示4.014.003.994.004.004.004.013.984.004.00值（MPa）平均值（MPa）3.999Δu3（Pm）=0.20，u3（Pm）则自由度为：v3（Pm）=123.4标准器不确定度引入的Pm不确定度分量u4（Ps）准确度为0.05级的标准器，在区间内属于均匀分依据贝塞尔公式得：s=实际测量情况为2次，以2次测量平均数值为测量n－1i=1∑（pi－p）102=0.009MPa布，取包含因子k=3，则其不确定度为：计量：ｗｗｗ．ｃｑｓｔｙｑ．ｃｏｍ计量：ｗｗｗ．ｃｑｓｔｙｑ．ｃｏｍ台，使我国汽车尾气排放标准达到国外九十年代初的水平。3.4第四阶段2005年国家环保总局公布了五项机动车污染物排放新标准，新标准包括：轻型汽车污染物排放Ⅲ和IV号排放标准、两项重型汽车污染物排放限值、摩托车和轻便摩托车加速行驶噪声限值及测量方法。其中，轻型汽车污染物排放Ⅲ号标准自日起在全国实施，IV号标准于日起实施。4汽车尾气污染物的防治方法目前，汽车尾气污染物的防治已成为全球性重要课题，为了改善大气质量，减少汽车尾气污染物的排放具体实施有以下几个方面：4.1控制汽车的数量。政在许多大中城市中，汽车数量实际已经“超载”府可以用宏观调控的方法提高汽车销售价格，减少汽车的购买量，促进小型车企的转产，把汽车的数量控制在生态平衡允许的范围内。同时使公共汽车、地铁等公共交提倡市民骑自行车、乘坐公共汽车通工具迅速发展起来，和地铁，尽量降低汽车尾气排放量。4.2严格把关，提高汽油质量目前世界大多数国家都已禁止使用含铅汽油。要提高汽车尾气污染物排放标准，严格把关，不能让未达到标准的汽油流入市场。4.3加快采用先进的汽车尾气处理技术，对不符合尾气（上接第61页）a=0.05%×6=0.003MPaa0.003u4（Ps）===0.0017MPa33Δu4（Ps）=0.20，估计u4（Ps）则自由度为：v4（Ps）=504各标准不确定度分量汇总表2标准不确定度分量u1（Pm）u2（Pm）u3（Pm）u4（Ps）不确定度来源重复性测量被检压力表估读环境温度引入标准不确定度（MPa）0.470.00170.01自由度9121250排放标准的汽车进行淘汰或改造。定期清洗三元催化器，保持机动车尾气净化性能。4.4加速发展、普及环保型汽车，推广以天然气为燃料的燃气汽车，以电能为动力的电瓶汽车。5结语汽车尾气污染是大气环境污染的一个重要组成部分，有效控制汽车尾气排放，对改善日益恶化的城市空气质量意义十分重大。对于汽车的环保问题，应该引起社会各界的重视，也需要社会各界的共同努力。参考文献［1］.化学世界，2007（2）：127～闫有旺.汽车尾气污染防治技术［J］128.［2］李琳.汽车尾气与四种最新控制方法的介绍［J］.科技信息，2010，（30）：125～125.［3］.环境科学导刊，2010，29耿永生.汽车尾气污染及控制技术［J］（6）：62～69.［4］吴国正，.广东化工，马丽萍，贺克雕.汽车尾气的污染与防治［J］）：67～68.［5］.沈迪信，陈宏德，田群.我国汽车尾气污染，污染控制与对策［J］1997（12）：23～33.环境学进展，［6］伍立群.汽车尾气污染及其净化处理技术［J］.安全与环境工程，2002（3）：20～23.作者简介：牛国辉，男，工程师。工作单位：新疆维吾尔自治区计量测试研究院。通讯地址：830000新疆乌鲁木齐市延安路花儿沟街出租车计价器检定站347号。自由度v（Pm）=56则合成标准不确定度uc（ΔE）=0.01MPa合成标准不确定度有效自由度为：u40.014c（ΔE）veff==[c1u（Pm）]4[c2u（Ps）]40.++5650v（Pm）v（Ps）=566扩展不确定度的评定取置信概率95%，包含因子k=2，则扩展不确定度为：U=uc（ΔE）?k=0.01×2=0.02MPa则一般压力表示值误差的测量值的扩展不确定度为：k=2。U95=0.02MPa，参考文献［1］JJF《测量不确定度评定与表示》．中国计量出版社.［2］JJG52－96《弹性元件式一般压力表、．国家压力真空表和真空表》质量监督检验检疫总局.［3］压力测量不确定度评定．中国计量出版社.作者简介：王兰兰，女，助理工程师。工作单位：贵州省六盘水市质量技术监督检测所。通讯地址：553001贵州省六盘水市钟山区八一路48号。邓仕奎，刘晓蕾，贵州省六盘水市质量技术监督检测所（六盘水553001）。标准器引入合成标准不确定度（MPa）5合成标准不确定度由于Pm与Ps相互独立，所以合成标准不确定度为：u2（Pm）+u2（Ps）uc（ΔE）=Pm的合成不确定度为：u2（Pm）=u12（Pm）+u22（Pm）+u32（Pm）=0.u（Pm）=0.01计量：ｗｗｗ．ｃｑｓｔｙｑ．ｃｏｍ三亿文库包含各类专业文献、文学作品欣赏、各类资格考试、应用写作文书、外语学习资料、生活休闲娱乐、一般压力表为例的测量值的示值误差的不确定度评定39等内容。　
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