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来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2017-06-12 05:09 标签： 纳米测量
- 纳米尺度几何量和机械量测量技术 = Nanostructure and nanomechanics measurement technology 赵学增, 王伟杰著 eng
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图书馆公告《微纳米测量技术》(王伯雄)【摘要_书评_试读】- 蔚蓝网
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包装：平装
本书讲述了微纳米测量技术的基本理论和方法、微纳米测量系统的工作原理及构成以及对不同物理量的微纳米测量应用。本书可作为高等院校微机电系统工程、测控、仪器、自动化、机电一体化等专业的本科生和研究生教材，也可作为工程技术人员的参考书。
本书讲述了微纳米测量技术的基本理论和方法、微纳米测量系统的工作原理及构成以及对不同物理量的微纳米测量应用。　　全书共4章，内容包括：微纳米测量技术的意义、特点和研究的内容；微型传感器的工作原理及其典型应用；微纳米测量技术中的光学方法，光学测量系统的结构及应用；微纳米尺度的几何量、表面粗糙度、表面微观形貌、MEMS材料机械特性、微应力和微应变、微位移、速度和加速度、振动、声和超声等典型物理量的测量技术应用。　　本书可作为高等院校微机电系统工程、测控、仪器、自动化、机电一体化等专业的本科生和研究生教材，也可作为工程技术人员的参考书。
1 绪论1.1 测量和测量系统1.2 微纳米技术和微系统技术1.2.1 微纳米技术的产生和发展1.2.2 微系统技术1.2.3 微系统技术加工方法1.2.4 微纳米材料的特性1.3 微纳米测量技术的任务1.4 课程学习的主要内容习题2 信号的传感及微型传感器2.1 MEMS技术与微型传感器2.2 加速度微传感器2.2.1 基本原理2.2.2 压阻式微加速度计2.2.3 电容式和力平衡（伺服）式加速度计2.2.4 各类微加速度传感器的性能比较2.3 微型力、压力、应变传感器2.3.1 基本原理2.3.2 微力传感器2.3.3 微应力敏感电子装置2.3.4 微压力传感器2.3.5 压阻式压力传感器2.3.6 电容式压力传感器2.3.7 微应变传感器2.4 速度和流量微传感器2.4.1 基本原理2.4.2 热敏电阻式微流量传感器2.4.3 压阻式微型流量传感器2.4.4 电容式微型流量传感器2.4.5 谐振桥式微流量传感器2.5 质量微传感器2.5.1 基本原理2.5.2 压电质量微传感器2.5.3 SAWR微传感器2.6 隧道效应式传感器2.6.1 基本原理2.6.2 隧道效应加速度计2.6.3 隧道效应红外传感器2.6.4 隧道效应式磁强计2.7 光纤传感器2.7.1 光纤结构及光导原理2.7.2 光纤特性2.7.3 光纤传感器原理及结构习题3 微纳米测量技术的光学方法3.1 自动调焦法3.1.1 自动调焦原理3.1.2 轮廓测量3.1.3 三维形貌测量3.1.4 自动调焦方法的应用3.2 三角法测量原理及应用3.2.1 点三角法传感器的基本结构及作用原理3.2.2 三角法测量传感器中光源的选择3.2.3 不同检测方案的比较3.2.4 影响三角法测量精度的因素3.2.5 点三角法传感器的典型特性3.2.6 三角法传感器的应用3.2.7 激光光切法传感器3.2.8 光切法传感器的光源和探测器3.2.9 图像评价3.2.10 光切法的应用3.3 莫尔条纹法和投影条纹法3.3.1 莫尔条纹法3.3.2 阴影莫尔法3.3.3 投影莫尔法3.4 投影条纹法3.4.1 作用原理3.4.2 编码式光切法3.5 光学显微测量技术3.5.1 显微镜的工作原理3.5.2 测量显微镜3.6 光干涉测量技术3.6.1 相移干涉测量技术3.6.2 白光干涉测量技术3.6.3 显微干涉测量技术3.7 激光扫描显微测量技术3.7.1 自聚焦激光扫描显微镜3.7.2 共焦激光扫描显微镜3.8 扫描电子显微镜技术3.8.1 电子显微镜的工作原理3.8.2 扫描电子显微镜3.8.3 扫描电子显微镜的应用3.9 原子力显微镜技术3.9.1 原子力显微镜的工作模式3.9.2 微悬臂形变检测方法3.9.3 原子力显微镜的应用习题4 典型物理量和MEMs系统特征参数的测量技术4.1 MEMS器件几何结构特征参数测量4.1.1 微米尺度的几何量测量4.1.2 纳米尺度的几何量测量与纳米测量学4.2 表面粗糙度与表面微观形貌测量4.2.1 表面粗糙度与表面微观形貌的评价方法4.2.2 表面粗糙度与表面微观形貌的测量方法4.3 MEMS材料机械特性的测试4.3.1 拉仲测试法4.3.2 弯曲梁法4.3.3 纳米压入法4.3.4 鼓膜法4.3.5 共振频率法4.4 力、应力和应变的测量4.4.1 MEMS结构中的应力和应变4.4.2 应力、应变对MEMS结构的影响4.4.3 MEMS结构中应力和应变的测量方法4.5 微位移、速度、加速度和振动等微机械量的测量4.5.1 计算机微视觉与频闪光照明技术在微机械量检测中的应用4.5.2 干涉技术在微机械量检测中的应用4.5.3 光纤技术在微机械量检测中的应用4.6 声和超声
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nano-grade measuring technology
纳米级测量技术
基于2个网页-
metrical technique of μm/nm
采样技术是纳米级微粒物质地球化学测量方法的基础。
Sampling procedure is a key to get a reliable observation in the application of nano-scale particle survey to mineral exploration in overburden areas.
本文主要就大量程纳米级光栅位移测量系统的关键技术进行研究。
In this dissertation, the technologies are studied which correlate to grating displacement measurement system with long-range displacement and nanometer resolution.
阐述了它的应用成果，包括超高灵敏度激光自混合多普勒测速技术，可测量纳米级振动的测振仪，以及激光回馈层析成像技术等；
Then its applications such as ultrahigh sensitivity self-mixing laser Doppler velocimeters, nanometer vibrometers and laser optical feedback tomography are described in detail.
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