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微区LIBS技术(micro-LIBS)，是基于LIBS技术结合显微光学发展起来的一种新型元素分析技术。该技术在继承LIBS优点的基础上，能够实现对待测样品的微创、高分辨成分分析，其最小探测空间分辨率可小于10微米；与精密载物位移平台对接后，还能够完成对目标物的一维、二维、三维的逐点扫描探测及分析。同时，该技术还与Raman技术具有良好的兼容性，结合后可完成元素与分子基团联合分析的多功能探测。
腔增强拉曼光谱技术是以常规拉曼光谱技术为基础，针对拉曼光谱技术灵敏度较低的问题，采用多次反射腔增强方法，对拉曼信号增强的一种光谱技术，具有较高灵敏度和多组分同时探测等特点，以期应用于对油气探测和海水中溶存气体探测。
本实验室拥有可应用于光谱实验的两套激光拉曼光谱系统，一套为532nm作为激发光的实验室研究级别的拉曼探测系统，一套为785nm作为激发光的便携式拉曼探测系统。
氧化锌(ZnO)纳米材料具有禁带宽(3.37eV)，光电性质良好，化学稳定性高，在高场强下，能带易弯曲等优点，被认为是最有前途的场发射阴极材料之一。阴极材料是场发射显示器 (Field Emission Display, FED）电子源的核心，因此氧化锌纳米材料的场发射性能具有相当重要的研究价值。
以稀土氧化物为原料，采用高温固相法，分别合成了钆、镨、镓以及钆镨镓共掺杂的YAG:Ce荧光粉，这几种荧光粉可以被蓝光(455nm－470nm)有效激发，掺杂不同浓度Gd3+可以使YAG:(Ce,Gd)荧光粉发射光谱的中心波长向红光波段产生不同程度红移。
自旋系统由于易于制备，便于操控等优点，被认为是实现固态量子计算装置内部高质量量子通信的可靠载体。实验上已有多种方案实现有效的Heisenberg自旋相互作用，如量子点，光晶格，腔QED等。理论上寻找提高通信质量的可行方案是目前需要解决的主要问题。
HY-2是我国第一颗海洋动力环境卫星，日成功发射。日完成在轨交付。 随星搭载雷达高度计、微波散射计、微波辐射计，全天候进行海面高度、风场、浪高、海流、海温等多种海洋动力环境参数的全球探测。
数字合成全息显示技术是将传统的激光全息技术与现代计算机图像处理技术、空间光学调制器技术和现代运动控制技术结合起来形成的一种真三维显示图像制作技术。利用这种技术可以将任意一组能够在计算机中播放的三维视频图像通过分解编码、组合变换、全息记录，制成一幅可在白光下再现的、包含过程动态信息的三维真彩色全息图，例如：可以将卫星和航拍的视频录像制成三维照片；可以代替实物给出产品设计的效果展示；可以制作具有强烈视觉冲击力的商业广告并成为一种新的艺术形式用于我们生活的各个方面。
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维普中文科技期刊数据库表面微观形貌测量中相移干涉术的算法与实验研究--《中国科学院西安光学精密机械研究所》2001年博士论文
表面微观形貌测量中相移干涉术的算法与实验研究
【摘要】：
本文对表面微观形貌相移干涉测量技术开展了全面、系统的理论与实验研
究工作。重点对相移干涉术算法，即相位提取算法和相位去包裹算法的理论进
行了深入研究，在此基础上，提出和发展了6种相位提取算法和5种相位去包
裹算法。在普通干涉显微镜的基础上，应用新提出和发展的算法编制的软件，
进行了被测物体的相位计算以及截断位相的整体恢复，进一步提高了微观表面
形貌的测量精度和测量可靠性、提高了测量系统的整体性能指标。
在相位提取算法方面，本文提出和改进了以下六个对扰动和误差不敏感的
相位提取算法，并给出了这些算法的理论推导和分析过程：
（1）线性相移随机误差免疫四帧算法；
（2）线性相移随机误差及光强信号二次谐波不敏感六帧算法；
（3）对光强信号二次、三次、四次谐波不敏感算式；
（4）对背景调制不敏感算法；
（5）存在线性相移差时高次谐波不敏感算法；
（6）基于Lissajous图的最小二乘拟合算法。
经过实验验证，上述算法具有对误差源不敏感的特性，其中算法（3）对Ra
的重复测量精度小于0.3nm。与传统相位提取算法相比，新算法将重复测量精
度提高了5倍以上。
针对实际干涉图中噪声点、低调制度点、误差点所引起的相位去包裹的结
果错误，本文发展了五个相位去包裹算法，来尽可能减少和避免这些情况的发
生。文中对这些算法进行了详细的理论推导和分析：
（1）基于参考位相阈值的相位去包裹算法；
（2）基于一维离散余弦变换的相位去包裹算法；
（3）基于相位跳变线估测的相位去包裹算法；
（4）运用Zernike多项式的相位去包裹算法；
（5）基于理想平面拟合的相位去包裹算法；
在论文的实验工作中，对测量过程中出现的相位截断现象，应用算法（2）
和算法（3）解决了噪声包裹导致的相位突跳，恢复了物体表面形貌的连续性和
真实性，并对算法（1）、算法算法（4）和算法（5）进行了计算机模拟验证，证明了它
们对现实物体图象所存在噪声的处理是十分有效的。
在论文的实验研究工作中，建立了微分相衬干涉显微测量系统；编写了一
套测试软件、多个算法软件及多组数据处理软件；分析并解决了微观表面形貌
测量中存在的一些技术难题；对测量系统进行了详细的误差和精度分析。
测量结果表明，粗糙度测量精度为0．3nm；形貌高度测量精度为3．3lun；垂
直分辨率为4．6nm；系统稳定性为3．Slun。
关键词：相移干涉术,相位提取算法,相位去包裹算法,微分相衬干涉
【关键词】：
【学位授予单位】：中国科学院西安光学精密机械研究所【学位级别】：博士【学位授予年份】：2001【分类号】：TN16【目录】：
中文摘要2-1
Abstracts1-10
第一章 概 述10-26
1．1 选题意义及背景10-12
1．2 表面微观形貌测量技术概述12-21
1．2．1 机械触针轮廓仪12-14
1．2．2 光学探针轮廓仪14
1．2．3 光学轮廓仪14-19
1．2．4 扫描电子显微镜SEM19
1．2．5 扫描遂道显微镜STM及原子力显微镜AFM19-21
1．3 微观表面形貌测量技术研究现状及发展趋势21
1．4 本论文的目的及内容21-26
参考文献22-26
第二章 相移干涉显微术测量原理26-42
2．1 干涉显微镜26-27
2．2 相移干涉术27-32
2．2．1 步进相移干涉术原理28-30
2．2．2 线性连续相移干涉术原理30-32
2．3 最佳采样方式32-34
2．4 移相方法34-37
2．5 表面形貌相位计算37-39
2．5．1 相位提取算法37
2．5．2 相位去包裹算法37-39
2．6 影响测量误差的主要因素39-42
参考文献40-42
第三章 相位提取算法研究42-73
3．1 经典相位提取算法42-44
3．1．1 最小二乘算法42-43
3．1．2 同步检测算法43
3．1．3 权重最小二乘算法43-44
3．2 快速相位提取算法44-54
3．2．1 传统快速相位提取算法44-45
3．2．2 传统快速相位提取算法精度分析45-48
3．2．3 改进快速相位提取算法48-51
3．2．4 本文提出的快速相位提取算法极其分析51-54
3．3 特征多项式相位提取算法设计分析理论54-63
3．3．1 特征多项式55-56
3．3．2 高次谐波不敏感性分析56
3．3．3 多项式的离散傅立叶变换56-59
3．3．4 利用特征多项式构造算式59-63
3．4 非线性相移误差不敏感算法63-73
3．4．1 基于Lissajous图的最小二乘拟合算法63-67
3．4．2 本文对基于Lissajous图的相位提取算法的改进和发展67-70
本章小结70
参考文献70-73
第四章 相位去包裹算法研究73-97
4．1 传统相位去包裹的数学描述73-76
4．1．1 一维数学模型73-75
4．1．2 二维数学模型75-76
4．2 快速离散余弦变换去包裹算法76-84
4．2．1 二维的非权重去包裹算法模型77-80
4．2．2 二维权重相位去包裹算法模型80-84
4．3 新提出的相位去包裹算法84-97
4．3．1 基于参考相位阈值的相位去包裹算法84-86
4．3．2 基于一维离散余弦变换的相位去包裹算法86
4．3．3 运用Zernike多项式的相位去包裹算法86-92
4．3．4 基于相位跳变线估测的相位去包裹算法92-93
4．3．5 基于理想平面拟合的相位去包裹算法93-94
本章小结94
参考文献94-97
第五章 相移干涉显微测量系统97-115
5．1 测量系统组成97-100
5．1．1 微分干涉相衬显微镜98-99
5．1．2 图像采集电路99-100
5．1．3 相移驱动系统100
5．2 相移干涉显微成象光路100-106
5．2．1 光路结构101
5．2．2 数学模型101-104
5．2．3 被测相位104-105
5．2．4 干涉图象105-106
5．3 测量数据处理106-111
5．3．1 形貌计算106-108
5．3．2 粗糙度参数的定义及计算108-111
5．4 测量流程及软件框图111-115
本章小结113
参考文献113-115
第六章 实验及结果115-147
6．1 测量系统光路的调整115-117
6．1．1 检偏器零位的调整115-116
6．1．2 1/4波片快轴方向的调整116
6．1．3 Nomarski棱镜剪切方向的调整116
6．1．4 Nomarski棱镜零位的调整116-117
6．2 工作台倾斜的软件调平117-118
6．3 图像滤波与平滑118-122
6．4 典型试件测量实例122-124
6．5 相位去包裹实验124-131
6．5．1 原理包裹的去除124-126
6．5．2 噪声包裹的去除126-131
6．6 Ra测量对比实验131-134
6．7 系统的分辨率134-135
6．8 系统的测量范围135-138
6．8．1 差分及斜率测量范围136-137
6．8．2 表面高度测量范围137-138
6．8．3 粗糙度测量范围138
6．9 系统的重复测量精度138-145
6．9．1 表面形貌高度的重复测量精度138-144
6．9．2 Ra重复测量精度144
6．9．2 Ra重复测量精度144-145
6．10 系统的稳定性145-147
本章小结145-146
参考文献146-147
第七章 误差及精度分析147-175
7．1 相位测量精度分析147-153
7．1．1 四分之一波片的相位延迟误差147-148
7．1．2 四分之一波片的方位角误差148-151
7．1．3 检偏器转角误差（移相误差）151-153
7．2 应用相位提取算法减小和消除相位测量误差153-164
7．2．1 半周期四帧相位提取算法153-157
7．2．2 无图象平滑滤波时相位提取算法实验验证157-161
7．2．3 有图象平滑滤波时相位提取算法实验验证161-164
7．3 测量系统的表面形貌计算误差164-165
7．4 Normaski棱镜对测量结果的影响165-166
7．5 测量系统的其它误差分析166-175
7．5．1 光源的影响166-167
7．5．2 数据量化误差的影响167
7．5．3 显微物镜数值孔径的影响167-168
7．5．4 采样间隔的影响168
7．5．5 样品倾斜对测量结果的影响168-169
7．5．6 离焦对测量结果的影响169-172
7．5．7 被测表面反射率及光波透入深度的影响172-173
本章小结173
参考文献173-175
第八章 总结与展望175-179
8．1 主要研究工作总结175-176
8．2 论文的创新点176-177
8．3 测量系统的技术特点及推广应用前景177-179
攻读博士学位期间发表论文汇总179-180
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【引证文献】
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康岩辉;[D];天津大学;2009年
李朝辉;[D];天津大学;2004年
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罗婷;[D];南京理工大学;2011年
沈金华;[D];哈尔滨工业大学;2010年
陈朋;[D];哈尔滨工业大学;2010年
石凤;[D];天津大学;2010年
李和利;[D];哈尔滨工业大学;2010年
翟伟光;[D];哈尔滨工业大学;2010年
黄根旺;[D];哈尔滨工业大学;2011年
程伟林;[D];华中科技大学;2011年
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