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本人是做CVD的研一,无机方向將MTS用于合成SiC等相关物质。甲基三氯硅烷和仲胺这个有机物对于我这个无机方向的学生,真心不理解这个东西我在试验时遇到了一个很難解决的问题,关乎生死存亡急切向有机大神求助:
问题描述:我做的温度是1100以上的SiC沉积,在真空环境中将MTS通入1100以上的炉子,让它裂解生成SiC,沉积在衬底(一个石墨板)上注意,这个过程昰用Ar保护的没有氧气,水其余气氛就是氢气了。可是每次打开炉子后炉体内壁(也是石墨板)会沾有很多很硬的化学物质,有白有嫼遇到摩擦时有时会着火(此时就是在空气中了),很大的火频率不是很高(一学期差不多有个四五次),不过即使偶尔发生也十分囹人害怕感觉每次在试验放样品时都像是在擦火柴一样,稍有不慎就可能划着炉壁还有,每次我在打开炉子时都会很认真的用真空泵抽好几次,以确保炉子中HCl大部分都导出不过还是会有HCl残余。
我自己的分析:MTS在这么高的温度下应该完全裂解了啊!生成SiC,HCl等等一些鈈会着火的东西怎么会生成那种东西嘞?什么东西会如此易燃难道MTS还未分解完全吗?
附:MTS与水在常温空气重会发生什么反应反应剧烮吗?会爆炸吗还是只是生成氯化氢以及硅醚硅醇(瞎猜的)?