磁控溅射镀膜钛靶充氩气溅射辉光颜色色应该是什么颜色的？

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2016-10-12 07:06 标签： 磁控溅射镀膜设备
pvd做蓝色，用TiAlN膜结构，颜色不均匀，且工件有大约深3mm的孔，孔内壁无法镀到，怎么解决？
用钛铝靶，磁控溅射做TiAlN蓝色膜，观察颜色变化，由黄到紫红到蓝。最后做出颜色会有紫红色异色。工件有3mm深孔，孔内无法镀膜，请问大大们怎么解决？谢谢！
你这个问题比较难解决，颜色是根据膜厚来的，不知道你的膜系窗口有多大，孔如果太深了只有通过调整磁控阴极的磁场，将辉光尽量覆盖工件。
孔的直径多大？一般孔里能涂到的长度差不多是1.5倍的直径，这是磁控溅射技术的缺点之一
1.孔径多大？是通孔还是盲孔？如果是通孔从孔的前后都镀效果会好很多。如果是盲孔尝试装夹角度调整下 ，不是离子镀确实会有局限性。3.异色问题 膜厚多少？你们怎么控制上中下的气体的均匀性？气管加孔么？
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磁控溅射镀膜技术文献综述
因现代科技发展的需求，真空镀膜技术得到了迅猛发展。镀膜技术可改变工件表面性能，提高工件的耐磨损、抗氧化、耐腐蚀等性能，延长工件使用寿命，具有很高的经济价值。磁控溅射技术在薄膜制备领域的应用十分广泛，可以制备工业上所需要的各种薄膜，如超硬薄膜、耐腐蚀耐摩擦薄膜、超导薄膜、磁性薄膜、光学薄膜，以及各种具有特殊电学性能的薄膜等。
关键词：磁控溅射
1.磁控溅射技术的发展 …………………………………………………………………1
2.磁控溅射基本原理………………………………………………………………………1
3.磁控溅射技术及特点……………………………………………………………………1
4．基本装置…………………………………………………………………………………2
4.1 电源………………………………………………………………………………………2
4.2 靶的冷却…………………………………………………………………………………2
4.3 磁短路现象………………………………………………………………………………3
4.4 基底偏压…………………………………………………………………………………3
5.磁控溅射新技术…………………………………………………………………………3
5.1 多靶磁控溅射技术………………………………………………………………………3
5.2 磁场扫描法 ……………………………………………………………………………4
5.3 非平衡磁控溅射 UBMS …………………………………………………………………4
5.4 脉冲磁控溅射技术 PMS
…………………………………
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