電子氟化液PFPE為一種無色透明、無菋、無毒性且具熱穩定與化學惰性之全氟化液體由於其分子結構上之碳原子與氟原子形成緊密鍵結,氟化液具有極佳的安定性、不會與活性材料如金屬、塑膠和彈性體起反應而及其穩定不論在高溫或低溫下更具有極佳之不導電與絕緣性質。市場上較為人知悉的電子氟化液應該是蘇威? (Solvey?) 的Galden? PFPE以及美商3M? 的Fluorinert?但因為其寡佔性強,價格相對較不親民氟化液極適合於半導體與電子零件製造工業中許多單相熱傳導應用,用以取代會導電的傳統冷媒與水氟化液工作溫度範圍是-60 °C~165 °C,適用於蝕刻機、離子注入機、測漏設備 (gross leaking test)的高低溫槽衝擊測試等諸設備上。電子氟化液PFPE易揮發不殘留不導電的特性同時也能用於電子零件的清洗。氟化液具有零臭氧消耗不受美國環境保護局(EPA)使鼡限制, 也不受揮發有機物管理條例約束,亦不增加地表的臭氧形成造成環境損害
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