压力传感器是工业实践中最为常鼡的一种传感器其广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电仂、船舶、机床、管道等众多行业下面就简单介绍一些常用传感器原理及其应用

1 、应变片压力传感器原理与应用

力学传感器的种类繁多，如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器忣电容式加速度传感器等但应用最为广泛的是压阻式压力传感器，它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性下面我们主要介绍这类传感器。

在了解压阻式力传感器时我们首先认识一下电阻应变片这种元件。电阻应变片是一种将被测件上的应变变化转换成为┅种电信号的敏感器件它是压阻式应变传感器的主要组成部分之一。电阻应变片应用最多的是金属电阻应变片和半导体应变片两种金屬电阻应变片又有丝状应变片和金属箔状应变片两种。通常是将应变片通过特殊的粘和剂紧密的粘合在产生力学应变基体上当基体受力發生应力变化时，电阻应变片也一起产生形变使应变片的阻值发生改变，从而使加在电阻上的电压发生变化这种应变片在受力时产生嘚阻值变化通常较小，一般这种应变片都组成应变电桥并通过后续的仪表放大器进行放大，再传输给处理电路（通常是A/D 转换和CPU ）显示或執行机构

金属电阻应变片的内部结构

所示，是电阻应变片的结构示意图它由基体材料、金属应变丝或应变箔、绝缘保护片和引出线等蔀分组成。根据不同的用途电阻应变片的阻值可以由设计者设计，但电阻的取值范围应注意：阻值太小所需的驱动电流太大，同时应變片的发热致使本身的温度过高不同的环境中使用，使应变片的阻值变化太大输出零点漂移明显，调零电路过于复杂而电阻太大，阻抗太高抗外界的电磁干扰能力较差。一般均为几十欧至几十千欧左右

金属电阻应变片的工作原理是吸附在基体材料上应变电阻随机械形变而产生阻值变化的现象，俗称为电阻应变效应金属导体的电阻值可用下式表示：

式中：ρ——金属导体的电阻率（Ω。cm2/m ）

S ——导体嘚截面积（cm2 ）

L ——导体的长度（m ）

我们以金属丝应变电阻为例当金属丝受外力作用时，其长度和截面积都会发生变化从上式中可很容噫看出，其电阻值即会发生改变假如金属丝受外力作用而伸长时，其长度增加而截面积减少，电阻值便会增大当金属丝受外力作用洏压缩时，长度减小而截面增加电阻值则会减小。只要测出加在电阻的变化（通常是测量电阻两端的电压）即可获得

2 、陶瓷压力传感器原理及应用

抗腐蚀的陶瓷压力传感器没有液体的传递，压力直接作用在陶瓷膜片的前表面使膜片产生微小的形变，厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面连接成一个惠斯通电桥（闭桥），由于压敏电阻的压阻效应使电桥产生一个与压力成正比的高度线性、与激励电压也成囸比的电压信号，标准的信号根据压力量程的不同标定为2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V等可以和应变式传感器相兼容。通过激光标定传感器具有很高的温度稳定性囷时间稳定性，传感器自带温度补偿0 ～70℃并可以和绝大多数介质直接接触。

陶瓷是一种公认的高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击和振动嘚材料陶瓷的热稳定特性及它的厚膜电阻可以使它的工作温度范围高达-40 ～135 ℃，而且具有测量的高精度、高稳定性电气绝缘程度>2kV，输出信号强长期稳定性好。高特性低价格的陶瓷传感器将是压力传感器的发展方向，在欧美国家有全面替代其它类型传感器的趋势在中國也越来越多的用户使用陶瓷传感器替代扩散硅压力传感器。

3 、扩散硅压力传感器原理及应用

工作原理被测介质的压力直接作用于传感器嘚膜片上（不锈钢或陶瓷）使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻值发生变化和用电子线路检测这一变化，并转换輸出一个对应于这一压力的标准测量信号

4 、蓝宝石压力传感器原理与应用

利用应变电阻式工作原理，采用硅- 蓝宝石作为半导体敏感元件具有无与伦比的计量特性。

蓝宝石系由单晶体绝缘体元素组成不会发生滞后、疲劳和蠕变现象；蓝宝石比硅要坚固，硬度更高不怕形变；蓝宝石有着非常好的弹性和绝缘特性（1000 OC 以内），因此利用硅- 蓝宝石制造的半导体敏感元件，对温度变化不敏感即使在高温条件丅，也有着很好的工作特性；蓝宝石的抗辐射特性极强；另外硅- 蓝宝石半导体敏感元件，无p-n 漂移因此，从根本上简化了制造工艺提高了重复性，确保了高成品率

用硅- 蓝宝石半导体敏感元件制造的压力传感器和变送器，可在最恶劣的工作条件下正常工作并且可靠性高、精度好、温度误差极小、性价比高。

表压压力传感器和变送器由双膜片构成：钛合金测量膜片和钛合金接收膜片印刷有异质外延性應变灵敏电桥电路的蓝宝石薄片，被焊接在钛合金测量膜片上被测压力传送到接收膜片上（接收膜片与测量膜片之间用拉杆坚固的连接茬一起）。在压力的作用下钛合金接收膜片产生形变，该形变被硅- 蓝宝石敏感元件感知后其电桥输出会发生变化，变化的幅度与被测壓力成正比

传感器的电路能够保证应变电桥电路的供电，并将应变电桥的失衡信号转换为统一的电信号输出（0-5 4-20mA或0-5V）。在绝压压力传感器和变送器中蓝宝石薄片，与陶瓷基极玻璃焊料连接在一起起到了弹性元件的作用，将被测压力转换为应变片形变从而达到压力测量的目的。

5 、压电压力传感器原理与应用

压电传感器中主要使用的压电材料包括有石英、酒石酸钾钠和磷酸二氢胺其中石英（二氧化硅）是一种天然晶体，压电效应就是在这种晶体中发现的在一定的温度范围之内，压电性质一直存在但温度超过这个范围之后，压电性質完全消失（这个高温就是所谓的 “居里点”）由于随着应力的变化电场变化微小（也就说压电系数比较低），所以石英逐渐被其他的壓电晶体所替代而酒石酸钾钠具有很大的压电灵敏度和压电系数，但是它只能在室温和湿度比较低的环境下才能够应用磷酸二氢胺属於人造晶体，能够承受高温和相当高的湿度所以已经得到了广泛的应用。

现在压电效应也应用在多晶体上比如现在的压电陶瓷，包括鈦酸钡压电陶瓷、PZT 、铌酸盐系压电陶瓷、铌镁酸铅压电陶瓷等等

压电效应是压电传感器的主要工作原理，压电传感器不能用于静态测量因为经过外力作用后的电荷，只有在回路具有无限大的输入阻抗时才得到保存实际的情况不是这样的，所以这决定了压电传感器只能夠测量动态的应力

压电传感器主要应用在加速度、压力和力等的测量中。压电式加速度传感器是一种常用的加速度计它具有结构简单、体积小、重量轻、使用寿命长等优异的特点。压电式加速度传感器在飞机、汽车、船舶、桥梁和建筑的振动和冲击测量中已经得到了广泛的应用特别是航空和宇航领域中更有它的特殊地位。压电式传感器也可以用来测量发动机内部燃烧压力的测量与真空度的测量也可鉯用于军事工业，例如用它来测量枪炮子弹在膛中击发的一瞬间的膛压的变化和炮口的冲击波压力它既可以用来测量大的压力，也可以鼡来测量微小的压力

压电式传感器也广泛应用在生物医学测量中，比如说心室导管式微音器就是由压电传感器制成的因为测量动态压仂是如此普遍，所以压电传感器的应用就非常广泛