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Ebara多层次干式抽气系统是由微处理控制器、模组、干式真空泵组合而成的控制与监控设备
Ebara真空抽气系统可局部性由手动控制或安装客制化LCD面板介面控淛,所有主要控制元件皆安装于抽气系统的线路内干式抽气系统附有传感器,可持续监控重要系统性能参数并进一步提醒问题或警告
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