坐标差之差的相对精度如何工业相机精度计算公式式

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2018-11-11 14:45 标签： 工业相机精度计算公式

【摘要】：正 半导体硅片的微细加工,对母掩模版的制造精度提出了很高的要求一组掩模的套刻精度,主要取决于分步重复相机坐标工件台的精度。套刻误差不得大于最小線宽的约10—20%,即±0.1—0.2μm工件台的精度又取决于两个坐标的重复定位精度和定向精度。这也就是说,要有一个精密的制造掩模平行导向运动

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【摘要】：视觉测量以其非接触性、速度快、精度高和信息量大的特点,受到了更多研究者的关注,并且在现代的工业生产和检测中得到越来越广泛的应用本文就结合某汽車厂的生产线在线检测项目,根据线结构光检测的原理,以汽车车架纵梁表面平面度检测的具体应用为基础,围绕双线结构光三维检测技术进行叻研究,主要的研究内容和成果如下： (1)根据线结构光测量的原理,给出了一种基于双线结构光测量模型,提出一种双激光平面同步标定方法。该方法通过识别标定板上的每条激光线并求取每条激光线上的若干标定点,根据标定点的三维坐标,标定激光平面为了减少相机和线激光器运動时产生的误差,提出了一种基于多标定板的全局标定方法。 (2)针对激光光条中心提取精度的不足,利用现有算法提取激光光条中心的像素级坐標,通过求取激光中心线周围灰度的法向,在法线方向上利用加权灰度重心法确定激光光条中心的精确位置,实现了激光光条中心的亚像素精度提取 (3)研究了测量系统误差的影响因素,并进行仿真,找到最优结构参数条件,指导系统的搭建。根据外界环境的影响,选用窄带滤光片滤除外界幹扰光影响,提高测量精度 (4)本文搭建了基于双线结构光三维检测系统,通过实验证明该系统对8mm标准量块台阶高度差的测量精度在0.03mm左右,相比较采用单线结构光检测系统,本文的测量系统有较高的精度和稳定性。 (5)根据车架纵梁表面形状、材质及现场检测要求,提出了基于ROI(感兴趣区域)和序列图像的在线检测方案,最后对纵梁表面进行了三维重建和平面度误差评定通过对1200m长纵梁进行平面度测量,本文方法与三坐标测量机测得嘚绝对误差为0.12mm。可以满足在线实时高精度检测要求

【学位授予单位】：长春工业大学
【学位授予年份】：2014


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