白激光干涉测表面形貌三维形貌做完怎么处理数据

课题"激光外差干涉技术应用表面形貌检测的研究",其目的是探讨一种新的基于激光外差干涉原理的表面形貌测量方法和应用技术,即以测相技术来实现高精度表面形貌测量.这┅测量思想是对现有测量方法的重要补充,对表面形貌测量技术的应用将起着积极的推动作用.论文最后用所研制的测量仪对表面粗糙度参数、台阶和三维形貌进行了测量,并与Wyko干涉显微镜、Talysurf-6型轮廓...  

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