一位微处理机在真空系统中之运用_罗茨泵_天天化工网
一位微处理机在真空系统中之运用
　　须更换电子枪灯丝时,要求能对枪室自动放气。更换灯丝后,再启动进入焊接工作状态,要求能自动完成。　　在焊接完毕后,更换工件时,其放气和-21-表1图2中a、b符号名称对照名称机械泵符号1X2X3XL作用称名符号作用气动阀电磁阀扩散泵通枪室阀门SF枪室放气阀罗茨泵局部室机械泵放气阀局部室机械泵排气阀电炉D局部室排气阀皮拉尼电阻规DLI枪室机械泵丽豪荞缅磷不…卞-夹层室机械泵局部室罗茨泵扩散泵加热电炉(1)3x10-,托控制D通断.设定点有局部室放气阀DL:设定点有(2)1x10-4托控制10FJ、通断.(1)5x10-,托控制iOFJ、通断(2)i心托控IJL启动气动阀DL,电磁阀ZF刃13F设定点1父。-i托控制10FJ五通断枪室低真空阀门枪室扩散泵前级阀门……电磁阀11FiZF扩散泵,K枪室与局部室之间之隔离阀夹层室机械泵放气阀夹层室放气阀K枪室扩散泵.此点经电离计校准。再启动两过程,同样也要求自动进行。根据上述要求,控制过程可列表,并绘出相应之框图如表2和图3所示。这不沮直观、也利于以后流程图之绘制和程序的编写。　　3.方案选择因上述控制具有开关量的特点,决定改单板机控制为-位微处理机控制(简称-位机)。其优点不言而喻。但需考虑以下几个问题。1)为使最小-位机系统能满足控制要求,所有延时须由硬件实现。2)-位机的工作频率多选为IOokHz,指令执行速度相对于各阀门的启闭动作是极快的。　　如在枪室放气过程中,应先关闭电离计。然后SF开启。在相应的程序执行中,最长才相隔五个时钟周期即5郎s。众所周知,受其制造化工工艺的限制,各类阀门开启和关闭所需行程时间决不可能-致,其时差也远大于50哪。这就有可能出现放气阀SF,先于其它阀门关闭之前打开,造成烧毁电离计和扩散泵油的恶性后果。因此放气阀须延时开启。　　3)-位机工作环境极恶劣,特别是在焊接进行中更是如此。万-因严重干扰引起阀门误动作,其后果因阀门所处的位置不同而异。唯独放气阀所造成的后果是无法挽救的。不但烧毁电离计,扩散泵油,使加有50kv高压的电子枪受损,甚至会引起人身安全事故。为此,采取放气阀只能在特定条件下才能打开,工作时锁定的防护措施。　　4)在真空系统中,主要保护对象之一是扩散泵,从枪室排气回路看,4F与ZF应互锁以防因严重干扰出现4F与ZF同时开启的状态。如不及时处理,会造成扩散泵反油,5)50kv高压只有同时满足某些特定条件后,才能加至枪的灯丝上,否则立即切断高压以保证人员设备安全。6)考虑到扩散泵在不同状态下启动,进入常态工作所需时间是不-致的。如扩散泵第二次启动和相隔前次启动不久后的再次启动,它们进入工作状态所需延时是不同的,为节省时间,设计了自动可调延时电路。-淞-表2控制过桂的文字列农说明各泵与阀门按次序工作,-枪室排气接等待焊局部室排气夹层室排气;…其隔离阀(10F)J于启动供水系统工作,运转111x10-1托托枪枪室及真空管路部分阀门动作,60kVVV再再有关关高高压切断,枪室放气,扩散泵、机械泵泵启启阀门门作作动动动作作继继续工作作枪枪室室局局部室放气各管路有关阀门动作,60kv高压切断再再有关阀阀夹夹层室放气,局部室,夹层室放气,罗茨泵机械泵停机机动动门工作作后后后后后枪室夹层室局部室各阀门按次序动作,返回起始状态,断扩散泵电炉,延时后停水,停机械泵并放气各阀门按次序动作,返回起始状态,停机械泵各阀门按次序动作,返回起始状态,停和机械泵其它空压机停止工作,供水系统经延时后停止工作用流导调节法测盆超高真空下的抽速《真空》旧。用流导调节法测量超高真空下泵的抽速,有以下三个优点:第一,如果气体流速为常数,则抽速测量不需要气体流速;第二,如果测量时压力规的灵敏度不变,则测试钟罩内压强的绝对值也是不需要的;第三,压力规与气体入在测试钟罩内的位置影响很小。　　由三个圆片构成的小孔系统用作可变流导,根据蒙特卡罗计算法,决定了它有两个固定的流导值。可从超高真空室外部选择其中一个流导。利用该系统,可成功地测量一个溅射离子泵和一个钦吸气剂泵构成的组合泵的抽速,对于氮气和氢气,压力可低达10-帕。启动洲片洲沪八,F们。碧球。延时止)1120分:二:)J二、l〕L又10一、托洲启启动动动动动动动动动动动动???????夕几几刁。扩(1)启动动动只专3)户)煞煞I||份迎T放放气气气汁;;;;;盆汽-----器器。换阴极或其它工作瞥瞥.釜釜釜釜釜釜釜釜悲悲悲悲悲悲悲悲悲工件处理或其它工件放放气气气气气气气气气Dp.欺欺呕对厉厉厉厉厉厉(l)气气倡犷111肠工件处理或其它工作rl|何甘四再再启动动日份;;;;;筹。气气气气气气气气气气气(0)(犷)延时时。分分再再启动动动动动动动动动动动动DDDppppp爵俪侧侧侧侧侧(0)J)再再启动动动DL;;;;;笨。停停机。印)万万万万万万万F(0)DL匕。延时继电电电W(0)启动前前。久。器SD延.ZF(0),状态态时时时时时时时时时时时时时时时时时时时30分分分。图3控制过程的框图说明注:(1)表示接通或开启.(O)表示断开或关闭.D,.G,为局邓室及夹芸室、枪室玫气佼制言号,J、为高压控ffi1J继电器。　　、分别为真空控制继电器设定值。W为水阀。为皮氏真空规。扭-位微处理机系统简介-位机采用上海元件五厂5G14500系列器件及EpRoM(2716)和RAM(2]14)两种进芯片自行设计组装,原理如图4所示。为使控制过程醒目,程序计数器、时钟高低电平及RR寄存器内容均用彩色指示灯显示。所谓内部控制状态输人,就是将输入端I,l、I、113分别与输出端o;1、o,2、o,3相连,当-位机逐步执行指令时,利用它们作状态位,以决定那个指令块是有效的。　　而外部控制状态输人由操作人员给出,共有枪室放气和重新启动。系统中所指真空计,实为两台真空控制继电器,除对真空检测外,还可在设定点输出控制信号。5.程序设计在真空系统控制中,其明显特征是具有较强的顺序性。-位机的结构程序共有三种,特点是:1F-THEN适用于循环处理方式,对所有指令均须逐步通过,故速度较慢但程序结构简单。适用于分支处理方式,它需有较多硬件支持以实现PC跳转、速度虽快但成本较高。　　wH--24-!川川时时钟高低电电平显示示内内部控制制状状态箱入入存存七拐拐数数据显示示真真空计计计外部控制制状状状状态抽入入:万尔赴劣图4-位机系统图解。峨耀蟹蟹777F=0SF匕IL二。二0SF,000007F二飞日F=11111器耀智智。二。望羚跟。1110F二。尹;娜爵-JJJJJ7F=够F=02X手。止哭。姗继继日100呻F二OZX切芝芝芝芝4F二02P=11OF二OOOILE适用于转移处理方式,也需硬件较多且程序结构复杂。根据本控制系统特点,宜采用循环控制方式即IF-THEN结构程序。程序设计中,对输人输出信息量的确定应本着下述考虑。　　在开关量控制中。-位机优于单板机的这种看法是有条件的。如果-位机由最小标准系统不断扩展,无疑其优势将随扩展而逐渐丧失,这正是-位机自1979年问世后,基本无进展的根本原因。在综合对比后,决定采用-位机控制,就必须设法将其输入、输出量控制在16点以内。各被控件的状态关系,请参阅图5和表4。　　6.保护能力以往,真空系统多采用继电器硬接线的顺序控制方式,因而对故障缺乏保护能力,仅限于停水报警和断相保护等。本系统是以各级真空状态为判断依据,满足就进入下步控制,否则就等待。在控制过程中或进入正常工作状态后,无论那级真空出现故障,根据判断结果,便自动转入出故障的前级控制状态,并采取相应操作进行保护,然后维持在此状态下继续工作,直至图5注:表示任意状态,即通或断,开或启,高电平或低电平。1表示高电平。0表示低电平。　　I表示输入端。a,b,c为状态标志位。s为状态数由a,b,c三个状态标志位组成。如:瓦回回l习月众1abe,则S。=0abc,则56=6故障排除为止。　　要指出的是,这种保护还具有嵌套的能力,因而体现了在状态控制下,程序的逐级多重保护功能。控制过程均通过控制台上的全系统控制状态显示图显示,故障的性质及地点-目了然。详细过程请参看图6说明,在此不再赘述。7.抗干扰措施除在3中提到之外,其它措施还有:1)为避免输入输出端对-位机本身的影响,采用了光电偶合器进行隔离。2)为抑制交流电源的干扰,电源变压器输入端接有LC网络。　　、3)为克服强电回路的干扰,凡接触点间均接有LC吸收回路,以减轻感性负载在接触点间引起的火花干扰。-25-表3ICU艳出表输入序号名称ICU物人表下功能输出序号名称!功RR寄存器的输入接I到此输入端,因此ICU可以有条件地使IEN和OEN寄存器置1或置O、从而控制RR寄存器的内容。枪室放气控制开关局部室(即工作室)和夹层室放气控制开关。枪室真空计DLI,设定在5x10-2托处,控制扩散泵(加热电炉)。枪室真空计DL设定在1xl。　　-处控制枪室与局部室间的隔离阀门及高压(60kV)继电器J、接通条件之一。局部室真空计DL:、设定在3又10-,托处是接通。F及J、条件之一。局部室真空计DL:设定在1。托处,控制罗茨泵的通断。　　延时继电器(延时20分)输出端接到此输入端控制4F的开启。输入端I-I、112、I-a分别与输出端O:一、O-2、013相连。当IcU逐步执行存贮器指令时,软件就利用这三位作为标志位以决定那个指令块是有效的。　　2枪室低真空阀01…3…枪室扩散泵前级阀门-瓦4F扩散泵通枪室阀:1后…5…枪室放共高石------。4…7…局部室(即工作室)。械泵。气阀。〕Q。　　…8…局部室气-。F局部室放气阀门-06?12F夹层室放气阀门10FO,O92X枪室与局部室的隔离阀门6okV高压控制继电器局部室机械泵低电平有效-P-P一.。-|一.上J-C-仁-了J工J-Td-,J-双下了l-,1-丫且?,1?,1-工1tl夹层室机械泵0103X低电平有效In孟3己.伯汤.已,l甘.山下二abCojol伽-Ol11心电磁阀门3F开启(高电平)或关闭(低电平)的反馈信号连此输入端。分别与Ilx、I-I:3、相连组成三个标志位。　　详见输入表。I-5ZF反门ZF开启(高电平)或关闭(低电平)的反馈信号连此输入端。罗茨泵l|月ee-!引浏|aUC-]工]-IJ-八山注:(1)除另有说明外、全部是高电平有效。(2)局部真空电子束焊机的局部室与真空电子束焊机的真空室含义是-致的、在控制台上又称上室。用划线检测法的干法刻蚀终点监视技术《真空》(日。在超大规模集成电路(vLSI)芯片中,目前的发展趋势倾向于使用较薄的底基层,对于刻蚀化工工艺来说,这就需要更加精密的终点监视技术。本文介绍的终点监视技术,采用了通过直接观察薄膜厚度的划线检测法。这种方法测定终点的步骤是检侧刻蚀工艺过程中芯片表面上划线处的反射光强度。该系统的特点在于测定具有连续光谱的反射光强,用一个钨灯进行辐照,用ND滤光器和CCD传感器进行检测。对多晶硅刻蚀来说,检测来自其表面的、具有连续光谱的反射光(波长。可以决定两个剩余厚度终点(600士50入,200士50人),它们与终点非常接近。-26-以弋弋叫叫C二二弓二).二二O-!万……司司C.KKKKK国渭渭因因因因OOO,叫叫匀匀匀匀匀,叫叫解解解-画-毛毛毛毛毛毛毛毛毛毛毛毛毛毛毛毛,叫叫,叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫叫甲叫叫账账账白言言言JJJOOOOOOO-一百---二不不不----侧侧侧O二二。翻矛矛O角角丁。古古古汤汤e4二.司司司召召召渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭渭三三三亡Cr,全全亡--言----几丁咨咨lll目目目目目目目目目目目目目目目目目目目.下--闷闷闷闷,川川川川月.勺叫。呈C仁叫叫共共共共共刁刁月刁刁OOOOOO兰-舀JJJ里心心。月月月月月月月月月月。心心OOO,叫叫。一.一.--OOOOO硬硬心心心心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古代中圆人的周遗园族觏睾
以 《文献通考 ?四裔考》属中心
提要：《文献通考 ?四裔考》及其绩作，保存了古代中圜舆周遗民
族或圜家嗣保的翔寅史料。徙中可以襞现，古代中圆在虞理舆周遣民
族舆圜家嗣保畴，所秉持的基本觏念就是中圜中心榆以及舆之相嗣的
萃夏文化傻越感。遣一靓念决定了古代中圜在面封外部世界的挑戟
畴，一贯采取匾别内外、隔绝莘夷的封阴性决策。逭槿决策反遇束又
禳古代中圆人在一獯相封封阴的瑗境中始终沉迷於中圆中心榆奥文
化傻越感的良好感霓中，御封外部世界舆域外文明基本上抱着盟目塞
骢的排斥憩度，徙而尊致中国在舆近代西方文明的相遇中最终败障。
鞠键词：古代中国 周遂圆族靓 四夷
《文献通考》
就橐编中圆古代周遗民族舆圜家的史料而言，《通典 ?遗防
典》有阴刽之功，但 《文献通考 ?四裔考》谷口以其漫畏的雁史跨度
舆翔寅的文献资料更届後人所推重。 《文献通考 ?四裔考》及其
绩作系列，旨在憷，雁史角度封 中圜舆外部世界的网保。正如杜
拳 本文焉上海市教育委奠台重黠孕科建毅项 目成果 项 目编虢：J50405 。
? 2I6?中萃文史蒲蕞 2009．1，绝第九十三期
佑舆属端酶所税，网注运一阴保的明连之士 “ 代 之”，“言群理
切，度越前古”的 输也蓝不少兄。④ 南朝史家范哮十分重祝封遣
檀网保的深入研究，他指出：“千里之差，冥 自毫端，失得之源，百世
不磨矣。”②唐代晕者到贶则豁禺，影警遣獯嗣保的，“岂燕天道，亦
人事使之然也”，③强 的颞然是 “人事”。清雍正帝 焉，在逭棰网
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《徐霞客游记》双音形容词研究
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