PECVD也称等离子体化学气相沉积（PCVD），是将低压气体放电形成的等离子体应用于化学气相沉积的一项具有发展前途的新技术。
PECVD的原理：等离子激发的化学气相沉积借助于气体辉光放电产生的低温等离子体，增强了反应物质的化学活性，促进了气体间的化学反应，从而在低温下也能在基片上形成新的固体膜。
PECVD技术中等离子体的性质
等离子体增强化学气相沉积或等离子体辅助化学气相沉和是依靠等离子体中电子的动能去激活气相的化学反应。由于等离子体是离子、电子、中性原子和分子的集合体，因此大量的能量存储在等离子体的内能之中。等离子体分为热等离子体和冷等离子体。PECVD系统中是冷等离子体，它是通过低压气体放电而形成的。这种在几百帕以下的低气压下放电所产生的等离子体是一种非平衡的气体等离子体。这种等离子体的性质是：
1、电子和离子的无规则热运动超过了它们的定向运动；
2、它的电离过程主要是由快速电子与气体分子碰撞引起的；
3、电子的平均热运动能量远比重粒子如分子、原子、离子和自由基 等粒子的运动能量高；
4、电子和重粒子碰撞后的能量损失可在两次碰撞之间从电场中补偿。
由于PECVD系统中是低温的非平衡的等离子体，其电子温度Te和重颗粒的温度Ti并不相同，加上在PACVD中，常采用多原子的分子，因而它会生成多种组合的自由基和离子，如有SiH2就会生成SiH3,SiH4+、SiH3+、SiH2+、SiH+等自由基和离子，还会生成二价离子与各种激发态。因此，很难用较少量的能量来表征一个低温非平衡等离子体。
PECVD与常规CVD主要区别是在于化学反应的热力学原理不同。在等离子体中气体分子的离解是非选择性的，因此，PECVD沉积的膜层与常规的CVD完全不一样。PECVD产生的相成分可能是非平衡的独特成分，它的形成已不再受平衡动力学的限制。最典型的膜层是非晶态。
PECVD的特点：
PECVD和常规CVD比较有如下优点：
1、等离子体增强化学气相沉积温度低。等离子体增强化学气相沉积技术的优势在于它可以在比传统的化学气相沉积低得多的温度下获得单质或化合物薄膜材料。它是借助于气体辉光放电产生的低温等离子体的能量激活CVD反应，电子的能量被用于产生反应活性物和带电粒子，而气体的温度本质上不会增加。实际上，这是一种由辉光放电产生的非平衡等离子体，原本在热力学平衡态下需要相当高温才能发生的化学反应，若利用这种非平衡等离子体便可以在低得多的温度条件下实现。在常规CVD技术中需要用加热使初始气体分解，而在PECVD技术中是利用等离子体中电子的动能去激发气相化学反应的因此使用该项技术，可在低的基体温度进行党内 积。应用PECVD技术，许多在热CVD条件下进行十分缓慢或不能进行的反应能够得以进行。
2、PECVD技术通常在较低的压力下进行，可以提高沉 积速率，增加膜厚均匀性。
3、PECVD技术可用于获得性能独特的薄膜
4、PECVD技术可用于生长界面陡峭的多层结构
5、扩大了化学气相沉积的应用范围，特别是提供了在不同的基片制备各种金属膜、非晶态无机特膜和有机聚合膜的可能性。
PECVD的缺点如下 ：
1、PECVD反应是非选择性的
2、因沉积温度低，反应过程中产生的副产物气体和其他气体的解吸进行得不到彻底，经常残留沉积在膜层之中。
3、等离子体容易对某些脆弱的衬底材料和薄膜造成离子轰击损伤。
4、PECVD往往倾向于在薄膜中造成压应力
5、相对于一般CVD而言，PECVD设备相对较为复杂，且价格较高
将其优缺点相比，PECVD的优点是主流，现正获得越来越广泛的推广应用。在PACVD技术中，最广泛的是用于电子工业。
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师范大学能环学院PECVD气体储存输送管道及泄露侦测报警系统招标公告
师范大学能环学院PECVD气体储存输送管道及泄露侦测报警系统招标公告
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云南师范大学能环学院PECVD气体储存输送管道及泄露侦测报警系&& 统采购项目
（项目编号：YDCSH）
竞争性谈判采购公告
根据《中华人民共和国政府采购法》、《政府采购货物和服务招标投标管理办法》、《云南省政府采购条例》等相关法律法规的规定，云南师范大学能环学院PECVD气体储存输送管道及泄露侦测报警系统采购项目已获得相关部门的批准。云南元大工程咨询有限责任公司受云南师范大学委托，对该校能环学院PECVD气体储存输送管道及泄露侦测报警系统采购（项目编号：YDCSH）进行竞争性谈判采购，诚邀具有独立法人资格及具有完成本项目能力的供应商参加。
一、项目资金来源：财政拨款。
二、本项目采购内容详见附件一。
三、供应商资格要求：
1.具有独立承担民事责任的能力；
2.具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
3.具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
4.有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；
5.参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；
6.法律、行政法规规定的其他条件；
7.本次采购不接受联合体。
四、本项目的竞争性谈判采购文件自日至日在云南元大工程咨询有限责任公司三楼业务部发售，售价￥400元/包/份(特快专递另加100元人民币)，售后不退。
五、本项目所有谈判申请文件用汉语编制，一套正本，贰套副本。谈判申请文件必须在日(星期五)上午09:30～10:00 (北京时间)之间送到呈贡大学城雨花片区1号云南师范大学西区指挥部楼415室，谈判申请文件的接收人为：周杰、孙黎明、李秋仙。
六、竞争性谈判会议将于日(星期五)上午10:00 (北京时间)在呈贡大学城雨花片区1号云南师范大学西区指挥部楼415室举行，供应商法定代表人或授权代表须携带相关证明材料和本人居民身份证原件出席，如授权代表参加谈判的还须携带授权委托书。
七、供应商务必认真阅读本采购文件的全部内容；采购文件如有变更，将主要以书面形式通知。
采 购 人：云南师范大学
采购代理机构：云南元大工程咨询有限责任公司
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　　提问：　　石英管的作用是什么？为什么要定期更换石英管？　　网友解答：　　产生等离子体，激发反应气体，用的时间长了，石英外壁会沉淀厚厚一层SiNx，影响石英管的激发效果。不便于调节反应参数　　本贴根据solarzoom论坛帖子整理，不代表solarzoom的观点。如有疑问欢迎加入交流讨论。　　原帖地址：
投稿、咨询、爆料——电话：(021)，邮箱：，QQ：
1.石英玻璃是以含二氧化硅物质，如水晶、硅石。四氧化硅为原料高温熔制而成。
其二氧化硅含量比普通玻璃高得多，一般石英玻璃二氧化硅含量在99.999%。
石英玻璃具有优异的光学性能，不仅可见光透光度特别好，而且透紫外线，红外线。
& & 石英玻璃是良好的耐酸材料，除氢氟酸和300度以上的热磷酸外，在高温下，它能耐硫酸，硝酸，盐酸，王水，中性盐类，碳和硫等侵蚀，其化学稳定性相当于耐酸陶瓷的30倍，相当于镍铬合金和陶瓷的150倍，它耐高温，耐热震，热膨胀系数特别小。
& &石英玻璃电学性能极佳，在常温下，它的电阻相当于普通玻 ...
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PECVD原理及设备结构
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混气管式PECVD系统
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KJ-T1200-P4路质子混气PECVD系统，由KJ-T1200单温区管式炉、真空系统、质子流量计、射频电源系统系统组成。
PECVD系统是为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，环境温度在100-300℃，但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解、离解和离化，从而大大提高了反应物的活性，这些具有反应活性的中性物质很容易被吸附到较次温度的基本表面上，发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜，因此这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）。
设备可在片状或类似形状样品表面沉积SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、纳米硅、SiC、类金刚石等多种薄膜，并可沉积p型、n型掺杂薄膜。沉积的薄膜具有良好的均匀性、致密性、粘附性、绝缘性。广泛应用于刀具、高精模具、硬质涂层、高端装饰等领域。
多晶纤维炉膛多晶纤维炉膛，节能耐腐蚀
重量轻、升温速度快、节能、省时、耐高温、耐腐蚀、保温性好，能满足何种快速烧结的要求。
高纯石英炉管炉管采用高纯度石英玻璃材料工艺加工
具有极低的热膨胀系数、耐高温、化学稳定性好、电绝缘性好。
双层内胆炉壳双层内胆炉壳，配有风冷系统，快速升降温
整个炉体采用双层内胆式结构，中间有气隙隔离，即使炉膛温度高达1200℃，炉体表面仍然可以安全触摸无滚烫感觉。
真空法兰法兰采用双环密封技术
有效的提高了法兰的气氛性，法兰上装有多种接头，可接电阻真空计、真空波纹管并能做成容易撤卸的铰链式。
合金电热丝内嵌式合金电热丝，升温快，寿命长
加热元件采用优质内嵌式合金电热丝，发热效率高、耐高温、抗氧化、耐腐蚀、升温快、寿命长、高温变形小、安装维修方便，使用寿命长。
微电脑PID控制器微电脑PID控制器，操作简便
操作简便，控温精确、可靠、安全多段可编程控制，可以简化复杂的试验过程，真正实现自动控制和运行。
炉体配有：输出电压和输出电流监测表，炉子加热状态一目了然。
高真空分子泵组真空系统采用高真空分子泵组，性能卓越
性能可靠：整体型复合转子，强度高、性能稳定；
洁净无油：采用脂润滑精密陶瓷轴承，无油蒸汽污染。锚点
管式炉系统
加热区长度
440mm(更多规格可按照客户要求定制)
正常工作温度
最高工作温度
加热元件 掺钼合金加热丝
炉膛材质 采用日本进口炉膛材料，不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡，抗热涨冷缩能力强
智能化30段可编程控制（用户可选配液晶触摸屏显示）
高真空分子泵组，高真空复合真空计
前级泵2升每秒，分子泵600升每秒
采用KF25系列波纹管和真空挡板阀连接
质子流量计
高精度质量流量计可准确的控制气体流量
气体流量范围为0-500ＳＣＣｍ 误差为0.02%
出气真空压力表，内置气体混气系统，
不锈钢针阀计管道，标准双卡套接头
射频电源系统
50-500W最大可调±1%
13.56MHz，稳定性±0.005%
提供相关配件
气炼石英炉管、真空法兰、高温手套、坩埚钩、热电偶、防烫罩、刚玉坩埚、炉塞
售后服务 12个月质保、终身保修
标准配件：
4路质子流量计 真空系统 射频电源
质子流量计×1
真空系统×1 射频电源×1
气炼石英炉管 真空法兰 热电偶
气炼石英炉管×1 真空法兰×1 防烫罩×2
高温手套 坩埚钩 热电偶
高温手套×1 坩埚钳×1 热电偶×1
刚玉坩埚 炉塞 马弗炉中文说明书
刚玉坩埚×2 炉塞×2 中文说明书×1
注：炉管、坩埚可按用户需求选配合适的款型
可选配件：
液晶触摸控制仪
液晶触摸控制仪
1．实现烤箱/电炉的升温、保温、降温工艺过程全自动。
2．工艺人员可以将几段程序编制成1条控温曲线，保存于触摸屏内，带密码保护功能，可一次性编制多条曲线。
3．具备断电记忆功能，查询已完成的工艺阶段。
4．现场操作人员需要调用某条温控曲线时，直接输入曲线序列号即可调用该条曲线，简单方便，杜绝错误发生。
5．具备多组历史数据记录功能。
6．具备同时显示多段温度及时间功能。
全自动智能型水冷机
1.制冷量达1800W，可选用环保冷媒；
2.温控精度可达±0.3℃；
3.智能温控器具有两种温控模式，适用于不同的使用场合；
有多种设定和故障显示功能；
4.具有多种报警保护功能：压缩机延时保护；压缩机过流
保护；水流报警；温度超高/低报警；
5.多国电源规格，CE、RoHS认证；
6.长寿耐用，操作简便；
7.可选配加热器和净化水质配置。
1、我公司对产品设备保修期一年，在此期间内设备发生质量问题，本公司对设备实行包修，实行终身维修服务。
2、在保修期限内，如遇设备质量问题，用户电话、书面、传真、电子邮件或其它方式通知维修需要，我公司将在1小时回报处理方案，24小 时内技术人员到现场，或以客户要求为准，确保设备正常运行。保修期满后，我公司仍提供优质服务，仅收取材料费。
3、针对客户的具体操作人员，我公司免费上门给予操作培训、简单故障排除、技术深入研制；将产品各项功能操作均演示给用户的操作人员，确保用户对产品能熟练的进行规范、安全操作，对一般故障能进行处理和对设备的日常维护及保养，保证仪器设备使用都能够掌握使用技术。
4、技术工程师可按要求上门服务(整机维护、技术讲解及操作指导等)。对产品进行安装、调试。我公司技术顾问随时解答客户在技术及标准规范方面的疑问及进行技术指导。
5、由厂商负责提供运输服务及运输费用，包装方式按照原厂出厂原标准包装。
6、全新的原包装产品，产品符合国家质量检测标准。随机技术资料齐全（用户手册、保修手册、有关资料及配件、随机工具等）。
郑州科佳电炉有限公司是一家专业从事电炉产品的研发、生产与销售的高新技术企业。我公司产品具有升温快、节能、温控精度高、保温性能好、微电脑控制、可编程全自动升温降温、炉壁温度接近室温、使用寿命长等特点；产品型号达到上百种，并可根据客户需求定制各式炉型，以满足高校、科研院所和工矿企业做高温烧结、金属退火、气氛还原和质量检测之用，广泛应用于陶瓷、化工、电子、冶金、新材料开发、机械、耐火材料、建材、特种材料等领域的实验和生产，受到广大新老用户的一致好评。
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等离子增强型PECVD系统
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牌： 科佳电炉
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