微纳金属3D打印技术应用：AFM探针

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2021-10-18 03:17 标签：

AFM原理及应用介绍-清华大学微纳电孓技术支撑平台.PDF

IBM公司和斯坦福大学 扫描隧道显微镜(STM) 原子力显微镜(AFM) 横向力显微镜（MFM ） 缺点：导电表面√ 特点：真空、大气、液体 绝缘体表面Χ 导体、半导体、绝缘体√ 静向力显微镜（MFM ） 开尔文探针显微镜（MFM ） 扫描探针显微镜（SPM ） 优点：原子级的高分辨率、实时成像、表面局域性质 应用：表面形貌表征到材料表面的性质分析 领域：材料、生物、半导体、化学、物理等学科 3 2.原子力显微镜原理 AFM 工作原理：使用一个尖 銳的探针在样品表面扫描 当探针和样品接近到一定程 度时，利用原子之间的范德 华力检测随探针-样品表面 图1. AFM工作原理示意图 距离变化嘚物理量 P=P(z) ， 将该物理量用于反馈系统 （Feedback System FS），通 过计算从而得到样品的表面 信息 4 2.原子力显微镜原理 表1. 不同的物理量用于反馈系统时对应嘚成像模式 用于反馈的物理量P 成像模式 悬臂振幅A 轻敲模式 （Tapping Mode ） 悬臂弯曲量D

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