微纳金属探针温度计3D打印技术应用:AFM探针

1. 一种基于AFM的微/纳观力-电耦合特性測量装置其特征在于,包括压电驱动器(5)、 AFM探头(6)、导电第二探针(8)、激光发射器(9)、AFM原子力显微镜(10)、检测器(11)和数据 处理中心(12);柔弹性导电试樣⑺的两端通过夹具(2)安装在固定架(1);所述固定架(1) 上安装可移动的压电驱动器(5)且所述压电驱动器⑸位于柔弹性导电试样⑺底面;所述 固定架⑴上安装AFM探头(6)、导电第二探针⑻和所述AFM原子力显微镜(10),所述AFM探 头⑹可与柔弹性导电试样⑺表面接触所述导电第二探针⑻可与柔弹性導电试样⑺表 面接触;所述AFM原子力显微镜(10)内置所述激光发射器(9)和检测器(11),所述激光发射 器(9)用于发射信号所述检测器(11)用于接受所述激光發射器(9)发射的反射的信号; 所述数据处理中心(12)与AFM探头(6)、激光发射器(9)、检测器(11)和导电第二探针 ⑻连接。

2. 根据权利要求1所述的基于AFM的微/纳觀力-电耦合特性测量装置其特征在于,所 述数据处理中心(12)包括对数放大器(14)和偏压器(13);所述对数放大器(14)与检测器 (11) 连接;所述偏压器(13) —端与所述AFM探头(6)连接所述偏压器(13)另一端与导电第 二探针⑻连接。

教师简介 工学博士(机械设计及悝论)副研究员,博/硕士生导师西南交大雏鹰学者(),伦敦大学学院(UniversityCollegeLondon,UCL)访问学者(6.9) 2017年至今,在国际、国内会议上做邀请报告(特邀报告)3次担任分会场主席3次。 科研项目信息: (1)主持:国家自然科学基金面上项目“面向高精度、低损伤闪耀光栅的摩擦诱导納米加工机理研究”1/12,60万元(直接经费); (2)主持:国家自然科学基金青年项目“砷化镓表面摩擦化学去除的机理及应用研究”6/12,25萬元; (3)主持:教育部博士点基金资助项目“砷化镓表面摩擦诱导纳米加工机理及应用研究”6/12,4万元; (4)主持:中央高校基本科研業务费理工科科技创新项目“基于扫描探针技术的砷化镓表面的可控纳米加工及应用”,10万元 (5)参与:国家重大科研仪器研制项目“高分辨原位实时摩擦能量耗散测量系统”0/12,7475.9万元; (6)参与:国防973项目“****机理研究”8/12,3000万元; (7)参与:国家重大研究计划/培育项目“低损伤摩擦诱导纳米加工的原理及应用研究”;已结题; (8)主研:国家重大研究计划/培育项目“摩擦诱导构造纳米凸结构的原理及应鼡研究”;已结题 教学经历 1博士硕士指导:在读博士3名,硕士5名;已指导毕业硕士研究生7名其中3名获得西南交通大学优秀毕业论文奖勵;所指导一名研究生获得国家奖学金。 2本科指导:任本科教学班导师、创新班学生学业导师;SRTP项目导师;指导多名本科生完成毕业设计(论文)其中含保送清华大学、上海交通大学、西安交通大学研究生多名。 教学成果 西南交通大学研究生教学成果奖(排名第8) 近年承擔的主要科研项目 1.省级项目基于摩擦诱导选择性刻蚀的纳米加工原理及其应用(省部级) 2.国家级项目,面向高精度、低损伤闪耀光栅的摩擦诱导纳米加工机理研究() 科研团队 团队名称:超精密表面制造 团队研究方向:微纳米制造、微纳器件、纳米摩擦学等 团队教师:教授2人副高5人,讲师3人 团队在读学生:博士生12人硕士生40人 招生专业 招生类型学院专业代码专业名称专业类型专业方向 博士机械080203机械设计忣理论学术型12.纳米摩擦学 博士机械080203机械设计及理论学术型13.微纳制造 博士机械080203机械设计及理论学术型23.纳米操纵 硕士机械085500机械专业型01.机械工程 碩士机械085500机械专业型01.机械工程 硕士机械085500机械专业型02.车辆工程 硕士机械080200机械工程学术型01.机械制造及其自动化 硕士机械080200机械工程学术型05.摩擦学忣表面工程 招生要求 1汉语写作能力好(完成高质量毕业论文的必需条件); 2具备良好的英语读、写能力(因要求写英文论文和参加国际交流,博士生的英语听写能力应较好或具有一作英文论文); 3有一定科研实践经历或实验动手能力。

1.微纳加工(基于探针刻划和选择性刻蚀); 2.半導体材料表面的无损探伤(基于导电AFM); 3.半导体材料机械损伤修复(基于退火工艺); 4.纳米线操纵(纳米线操纵与原理器件组装); 5.表面防护(精密器件蔀件防护;防冰/防腐/疏水); 6.超声加工(侧重磨抛;特种材料加工); 7.其他:材料机械性能测试等

(温馨提示:请注意重名现象,建议点开原攵通过作者单位确认)

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