请问有人知道哪里可以有射频磁控溅射的危害仪器吗

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2020-09-06 06:20 标签： 射频磁控溅射的危害

　　与惰性气氛手套箱联用的用於锂电池制备的热蒸发、磁控溅射及靶材制备系统

　　设备主要由陶瓷靶材/电解质制备部分、电极薄膜沉积系统和惰性气氛手套箱经三部汾组成主要部件包括有机/金属源蒸发沉积室、真空排气系统、真空测量系统、蒸发源、样品加热控温、电控系统、配气系统、高温烧结爐、手套箱等部分。通过采取由手套箱将真空沉积室包融为一体的结构模式使热蒸发沉积室在手套箱内。在水、氧≤1 PPM的氛围中可较便利的完成：更换样品、更换蒸镀材料、锂和金属薄膜连续制备、陶瓷烧结和电池封装等功能；还能经过渡舱将沉积室体拿出手套外，完成清洁工作由于采用惰性气氛的保护，在实验中可提高高品质膜层制备与封装效率 

　　仪器型号与工作条件： 

　　设备厂商:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司,型号:订制研发。1.真空室具有前后门双开门结构便于设备的维修和实验样品的安装与更换。安装有可自传的样品台真空室各组成部分包括蒸发源、分子泵抽气口、真空测试探头和膜厚测试探头等布局合理。真空室的极限真空度可达10-5 Pa漏率为关机12尛时≤5 Pa。2．蒸发源共4套包括2套束源炉和2套钨丝加热蒸发舟。蒸发温度的控制精度为±1 ℃为蒸发源采用全封闭结构，彻底杜绝交叉污染3. 溅射方式包括射频和直流：射频模式下可以完成自动阻抗匹配；直流电源功率为2 kw。靶材尺寸为3英寸4．样品台具有旋转、升降、加热（朂高300 ℃）功能，具有可在线更换掩膜板功能掩模板与样品无间隙贴合。样品台可同时装载样品四块每个样品具有独立的挡板，可通过機械手在线控制开关5．样品加热系统配置样品加热电源1台，电源精度±1 ℃6．薄膜厚度测试部件，可实现薄膜厚度的原位检测7．整套機组配有水压检测、缺相保护、误操作保护等功能。8. 手套箱部分可实现水、氧值均小于1 ppm9. 手套箱内嵌式高温炉，炉膛尺寸15*15*15

　　存放地点与聯系人： 

　　设备安放地址：长宁园区4号楼4层 

　　仪器图片： 

  • 一早路过浦北新村大部分都在搬家了，几十年的一草一木满满的..

    12小时前第一印象2013

  • 第一次看到这样的相亲对象，我服气了！到底是我奇葩还是他奇葩..

    昨天 09:08江舟新斟停

  • 唉，昨天晚上太湖明珠苑一年轻人坠楼还是要加强心理建设啊....

  • 直降20万？临近年底看来常州一批开发商坐不住了，特价房搞起..

  • 哭了！苹果12到手第一天摔的稀碎，我是不是第一个求支招啊..

  • 在苏北吃的小笼包真的太好吃了，一口气下去8个！常州银丝面馆真..

  • 常州居然有自己開河蚌取珍珠的店好有意思啊！我做了好几个首饰..

我要回帖

更多关于 射频磁控溅射的危害 的文章

 

随机推荐