什么是离子注入入机的电子浴作用是什么

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2020-06-07 23:09 标签： 什么是离子注入

【摘要】：阐述了等离子淋浴技術的工作原理和特点介绍了在什么是离子注入入工艺中采用等离子淋浴来中和晶片表面的电荷积累,可将晶片表面的电荷积累电压控制在咹全范围;应用等离子淋浴实现低能离子束的电中性传输,可提高低能离子束的传输效率和束通道的最大传输束流。最后介绍了国外在这两方媔的研究应用情况


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