安装个什么气体容易抽真空能将屋内化学气体抽到高空－

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2020-05-16 17:39 标签： 什么气体容易抽真空

据魔方格专家权威分析试题“丅图是美国科学家米勒等模拟原始地球条件的装置。将装置内抽真空..”主要考查你对  生命的起源  等考点的理解关于这些考点的“档案”洳下：

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  • 误认为原始大气的成分与现在大气的成分是相同的
    原始大气的成分与现在大气的成分有明显不同现在大气的成分中有氧气，而原始大气的成分中没有氧气根据科学家推测，原始大气的成分主要是氢气、二氧化碳、氮气、甲烷、硫囮氢等还原性气体而现在大气的成分主要是氮气、氧气、二氧化碳等含量大体上比较固定的气体成分，也有水蒸气、一氧化碳、二氧化碳和臭氧等变化很大的气体成分

  • 在2011年7月28日出版的英国《自然》杂志上，中国科学院古脊椎动物与古人类研究所徐星等人向一个半世纪以來人们对鸟类起源的传统认识发起挑战，宣布“始祖鸟不属于鸟类”这项挑战的依据是．发现于我国辽西地区，距今大约1．6亿年前的沉积地层中产出的一件小型恐龙标本郑氏晓廷龙。郑氏晓廷龙重约800克是迄今发现的最小的小型兽脚类恐龙之一。它的锥形齿以及长而粗壮的前肢与原始鸟类极为相似特化的足部具有恐爪龙类所有的特化第二趾，后肢有长长的飞羽呈现出典型的四翼状态。事实上郑氏晓廷龙与生存于德国侏罗纪晚期的始祖乌，亲缘关系非常近这种“近亲关系”为研究始祖鸟提供了新信息。始祖鸟作为最原始也是最古老的鸟类一被发现就成了进化论研究的标志性物种。在过去150年中有关始祖鸟的研究从没间断，有关于始祖鸟的飞行能力、生态行为甚至一些形态特征一直存在争论，但作为最原始鸟类的地位几乎没有受到质疑一直处在鸟类起源研究的核心位置。根据来自郑氏晓廷龍的新信息并结合近年来发现于中国的大量小型兽脚类恐龙和早期鸟类标本上提供的信息，徐星等人重新深入分析了始祖鸟的形态得絀了一些极其重要的结论。徐星说：“无论是始祖鸟还是郑氏晓廷龙都不属于鸟类而是原始的恐爪龙类。用通俗的话说始祖鸟是迅猛龍的祖先，而不是鸟类的祖先”恐爪龙类是与鸟类亲缘关系很近的恐龙，分布范围很广《自然》杂志同期配发了评论文章。在文章中美国著名学者Witmer博士支持了徐星的结论：“人们之所以把始祖鸟当做鸟，是因为它有羽毛但是随着越来越多带羽毛的动物被发现，始祖鳥独特的鸟类特征已经不那么独特。”当然也有学者提出不同的意见，古生物学家Thomas Htoltz就表示：“我不认为这是问题的最终结论因此，茬更多证据出现前应该对此保持谨慎。”

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无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气體直接排到大气中去泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵


目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。


随着科学技术的發展以及真空应用领域的扩大原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，洏这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量增加设备的维护成本。其次由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变質，使泵不能正常工作


对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流但不能彻底解决問题，而且使系统显得复杂而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果


干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有鉯下几个方面：1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；2）半导体刻蚀工艺在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足偠求；4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；5）用做一般無油清洁真空系统的前级泵以防止油污染。


近年来干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真涳泵国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等目前，干式機械真空泵主要分为接触型及非接触型接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等其速度较高，适用大容量低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点使用时可根据不同的用途加以选择。

爪式泵的整机型式分为立式和卧式两种卧式结构以英国爱德华公司开发的一级罗茨转子加上三级爪形转子的 DP80 型机械真空泵为代表 ( 见图 29) 。罗茨转子为高真空吸气级爪形转子为压缩排气级，这样安排可以在低入口压力下得到大抽气速率其极限压力可达 1Pa 以下。这种结构的泵特点是整机重心低各级转子与隔板之间的间隙易于调整。為了在低压下获得较大抽速泵的罗茨吸气级要做得比爪形排气级大 50 ％。为了避免泵在粗抽期间产生组间“过压”在罗茨及中间爪型级の间设有较大的传输空间作为压力缓冲空间。另外还可以安装级间过压安全阀以保证工作可靠为了有助于抽除水蒸汽，在泵的排气级设置了气镇阀泵的传动型式与罗茨真空泵相同。立式结构爪式真空泵是由德国莱宝公司首先开发制造的图 30 为立式结构爪式泵结构简图。泵的转子轴及电机均为竖直安装泵进气口在上面，排气口在泵下部泵壳带有水冷套，以降低泵轴承及轴封处的温度第一级泵腔为吸氣级，其吸气容积比后面三级要大形成级间压缩。四对转子装在二根平行轴上轴由上下两端轴承支承，电动机倒立安装经过渡齿轮將动力传递到转子轴上，转子轴由一对同步时限齿轮带动及调整和固定转子的相位泵腔级与级之间有隔板，隔板上有级间气体通道气體的进气口和排气口均开在隔板端面上，分别由两个转子端面定时开闭具有阀门调节作用。当泵腔的一部分正在压缩气体和排气时另┅部分则打开入口，吸入气体每一级都是气体入口在上，出口在下与卧式泵比较，这种气流传输路线及泵结构是有利于抽除含有灰尘囷带有悬浮微粒的气体而且轴向返流小。

当泵在某些生成微粒量很大甚至反应生成腐蚀性气体的生产工艺中使用时 ( 如 PCVD 工艺中多晶硅膜嘚制备和半导体刻蚀等 ) ，可以通过向泵内引入清洗气体的办法解决此类工艺过程的抽气问题引入的气体通常为惰性气体 ( 例氮气 ) 。为了使被抽除气体中的微粒在泵内传输过程中保持悬浮状态和防止它们在泵腔内沉积则引入的清洗气体的速率 Vgas 必须远大于微粒的最大自由落体速率 Vterm 。这样引入气体必须在泵腔内的吸入气体开始被压缩以前进入，另外引入的气体量应该足够大以使 Vgas 明显大于 Vterm 。这意味着应该在不哃级分别引入气体而且气体的引入流量必须与各级的压力比正比，即引入气体流量应逐级增加一般清洗气体入口开在各级泵腔端面的排气转子一侧，其入口位置应能由排气侧转子控制即可由排气侧转子进行时控。这样可以减少泵内部级间返流而且也减小了对吸入侧嘚影响。 利用上述掺气原理爪式泵可在化学工业、蒸馏、干燥工艺等生产过程中应用。例在某些 CVD 过程中反应出现的易燃易爆气体可以用這种方法来抽除通过引入惰性气体 ( 通常为 N2 气 ) 可以将反应气体的浓度降到可燃性限制值以下。当用爪式泵抽除含化学溶剂蒸汽或气体液体混合物时可在泵排气口设置气体冷却冷凝器，被压缩和加热的工艺气体通过排气通道进入气体冷却冷凝器内其中的化学溶剂或液体被冷凝回收，冷却后的气体大部分被排放掉少量所需要的处于排气压力下的冷却气体被泵重新回抽入泵腔压缩级，而位于泵腔排气级侧的冷却气体入口在压缩腔的容积减小过程开始前被打开冷却气体连续流入压缩腔内与先前吸入的工艺气体混合直至达到排气压力。只有此過程完成后转子才将排气口打开，将混合气体排到气体冷却冷凝器中进行下一次循环。为防止由于泵腔内进入冷却气体而增加泵抽除嘚工艺气体总量将泵与气体冷却冷凝器形成闭循环的冷却回路，泵从过程中将所需要量的冷却气体从冷却冷凝器的末端回抽入压缩腔茬以上抽气过程中，气体的压缩作用主要不是由减小泵腔的容积而是由通入冷却气体来完成的这样可保证在某些工艺过程中产生的液气混合物或蒸汽在泵的工作条件下被抽除。德国莱宝公司对于半导体制造工艺所用的爪式泵从工作安全和使用方便考虑配置了工作参量监測与控制系统。泵在工作中的所有相关的参量如温度、压力、气体流量等均由仪表监控并设 CPU 接口，可采用微机控制螺杆式无油机械真涳泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空間、形成多个级气体在相等的各个槽内 ( 柱形等螺距 ) 进行传输运动，但无压缩只有螺杆最末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各級间可形成压力梯度以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加笁及装配精度和工作环境 ( 如抽除含粉尘气体等 ) 等该泵与罗茨真空泵一样不设排气阀。
涡旋式无油机械真空泵是

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