半导体中RMS半导体是什么意思男人

【摘要】:本文针对半导体信息囮制造中遇到的程序管理问题,根据SEMI的RaPM的概念和SECS/GEM协议提出程序管理系统(Recipe Management System,RMS)的解决方案,综合考虑半导体封装生产线的流程特点,建立RMS的系统架构和功能模型,定义切合实际的用户应用模块,通过建立项目并成功导入,指出RMS在半导体信息化制造中的可行性和重要性


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