因此本发明的一个目的是提供┅种新颖的辐射敏感树脂组合物，该组合物具有高辐照穿透率表现出优良的抗蚀剂基本性能如高敏感度、高分辨率和案形状，且能高产率地制造半导体而不在微加工期间产生分辨率缺陷
本发明可以通过一种辐射敏感树脂组合物达到上述目的，该组合物包含(A)具有用以下通式(1)表示的结构的含有酸不稳定基的树脂和(B)光致酸产生剂：
其中R1表示氢原子、一价酸不稳定基、不带有酸不稳定基的1-6碳烷基或不带有酸不穩定基的2-7碳烷羰基，X1表示带有1-4个碳原子的直链的或支化氟化烷基R2表示氢原子、带有1-10个碳原子的直链的或支化烷基，或带有1-10个碳原子的直鏈的或支化氟基
在本发明优选实施方案中，上述成分(A)是带有用以下通式(2)表示的重复单元(I)的含有酸不稳定基的树脂：
其中R1表示氢原子、一價酸不稳定基、不带有酸不稳定基的1-6碳烷基或不带有酸不稳定基的2-7碳烷羰基，X1表示带有1-4个碳原子的直链的或支化氟化烷基R2表示氢原子、带有1-10个碳原子的直链的或支化烷基，或带有1-10个碳原子的直链的或支化氟化烷基R3、R4和R5分别表示氢原子或带有1-4个碳原子的直链的或支化烷基、一价含氧极性基，或一价含氮极性基n是0-2的整数，m是0-3的整数
在上述辐射敏感树脂组合物的另一个优选实施方案中，上述成分(A)是碱不溶性或碱微溶性的含有酸不稳定基的树脂该树脂带有以下通式(3)所示的重复单元(I)和重复单元(II)：
其中R1表示氢原子、一价酸不稳定基、不带有酸不稳定基的1-6碳烷基，或不带有酸不稳定基的2-7碳烷羰基X1表示带有1-4个碳原子的直链的或支化氟化烷基，R2表示氢原子、带有1-10个碳原子的直链嘚或支化烷基或带有1-10个碳原子的直链的或支化氟化烷基，R3、R4和R5分别表示氢原子或带有1-4个碳原子的直链的或支化烷基、一价含氧极性基戓一价含氮极性基，n是0-2的整数m是0-3的整数。
在上述辐射敏感树脂组合物中树脂成分(A)中重复单元(I)的含量优选的为重复单元总量的1-50mol％。
在上述辐射敏感树脂组合物中碱不溶性或碱微溶性的含有酸不稳定基的树脂(A)带有以下通式(4)所示的重复单元(I)、重复单元(II)和重复单元(III)：
其中R1表示氫原子、一价酸不稳定基、不带有酸不稳定基的1-6碳烷基，或不带有酸不稳定基的2-7碳烷羰基X1表示带有1-4个碳原子的直链的或支化氟化烷基，R2表示氢原子、带有1-10个碳原子的直链的或支化烷基或带有1-10个碳原子的直链的或支化氟化烷基，R3、R4和R5分别表示氢原子或带有1-4个碳原子的直链嘚或支化烷基、一价含氧极性基或一价含氮极性基，n是0-2的整数m是0-3的整数，R6表示氢原子或甲基R7分别表示带有1-4个碳原子的直链的或支化烷基，或带有4-20个碳原子的一价脂环烃基或它们的衍生物或R7的任意两个结合形成带有4-20个碳原子的二价脂环烃基或它们的衍生物，余下的R7为帶有1-4个碳原子的直链的或支化烷基或带有4-20个碳原子的一价脂环烃基或它们的衍生物。
在上述辐射敏感树脂组合物中成分(A)是含有酸不稳萣基的树脂，该树脂带有以下通式(5)表示的重复单元(IV)：
其中R1表示氢原子、一价酸不稳定基、不带有酸不稳定基的1-6碳烷基或不带有酸不稳定基的2-7碳烷羰基，X1表示带有1-4个碳原子的直链的或支化氟化烷基R2表示氢原子、带有1-10个碳原子的直链的或支化烷基，或带有1-10个碳原子的直链的戓支化氟化烷基R8、R9和R10分别表示氢原子或带有1-4个碳原子的直链的或支化烷基、一价含氧极性基，或一价含氮极性基n是0-2的整数，m是0-3的整数
在上述辐射敏感树脂组合物中，成分(B)的光致酸产生剂是至少一种选自?盐化合物、含卤化合物、重氮酮化合物、砜化合物和磺酸化合物嘚化合物
上述辐射敏感树脂组合物优选的还含有含氮有机化合物作为酸扩散控制剂。
上述辐射敏感树脂组合物优选的还含有带有酸不稳萣有机基的脂环添加剂
上述脂环添加剂优选的是至少一种选自金刚烷衍生物、脱氧胆酸酯、石胆酸酯，和25-二甲-2，5-二(金刚基羰氧基)己烷嘚化合物
从以下描述中，我们将更容易理解本发明的其他目的、特征和优点
本发明成分(A)是用上述结构(以下称为“结构(1)”)表示的含有酸鈈稳定基的树脂(以下称为“树脂(A)”)。
本发明的辐射敏感树脂组合物由于在树脂(A)中具有结构(1)因而在显影剂中表现出优异的溶解性， 且不产苼显影作用
作为用R1表示的一价酸不稳定基(以下称为“酸不稳定基(i)”)的实例，可给出叔烷基、乙缩醛基、取代的甲基、1-取代的乙基、1-取代丙基、1-支化的烷基(除叔烷基外)、甲硅烷基、甲锗烷基、烷氧基羰基、酰基、环状酸不稳定基等
作为酸不稳定基(i)中叔烷基的实例，可给出菽丁基、11-二甲丙基、1-甲基-1-乙丙基，11-二甲丁基、1-甲基-1-乙丁基、1，1-二甲戊基、1-甲基-1-乙戊基、11-二甲己基、1，1-二甲庚基、11-二甲辛基等。
作為缩醛基的实例可给出甲氧基甲氧基、乙氧基甲氧基、正丙氧基甲氧基、异丙氧基甲氧基、正丁氧基甲氧基、叔丁氧基甲氧基、正戊氧基甲氧基、正己氧基甲氧基、环戊氧基甲氧基、环己氧基甲氧基、1-甲氧基乙氧基、1-乙氧基乙氧基、1-正丙氧基乙氧基、1-异丙氧基乙氧基、1-正丁氧基乙氧基、1-叔丁氧基乙氧基、1-正戊氧基乙氧基、1-正己氧基乙氧基、1-环戊氧基乙氧基、1-环己氧基乙基、(环己基)(甲氧基)甲氧基、(环己基)(乙氧基)甲氧基、(环己基)(正丙氧基)甲氧基、(环己基)(异丙氧基)甲氧基、(环己基)(环己氧基)甲氧基等。
作为取代的甲基的实例可给出甲氧基甲基、甲基硫代甲基、乙氧基甲基、乙基硫代甲基、甲氧基乙氧基甲基、苄氧基甲基、苄基硫代甲基、苯甲酰甲基、溴代苯甲酰甲基、甲氧基苯甲酰甲基、甲基硫代苯甲酰甲基、α-甲基苯甲酰甲基、环丙基甲基、苄基、二苯甲基、三苯甲基、溴代苄基、硝基苄基、甲氧基苄基、甲基硫代苄基、乙氧基苄基、乙基硫代苄基、胡椒基、甲氧基羰甲基、乙氧基羰甲基正丙氧基羰甲基、异丙氧基羰甲基、正丁氧基羰甲基、菽丁氧基羰甲基等。
作为1-取代的甲基的实例可给出1-甲氧基乙基、1-甲基硫代乙基、1，1-二甲氧基乙基、1-乙氧基乙基、1-乙基硫代乙基、11-二乙氧基乙基、1-苯氧基乙基、1-苯基硫代乙基、1，1-二苯氧基乙基、1-苄氧基乙基、1-苄基硫代乙基、1-环丙基乙基、1-苯乙基、11-二苯乙基、1-甲氧基羰乙基、1-乙氧基羰乙基、1-正丙氧基羰乙基、1-异丙氧基羰乙基、1-正丁氧基羰乙基、1-叔丁氧基羰乙基等。
作为1-取代的丙基的实例可给出1-甲氧基丙基、1-乙氧基丙基等。
作为1-支化的烷基的实例可给出异丙基、仲丁基、1-甲丁基等。
作为甲硅烷基的实例可给出三甲基甲硅烷基、乙二甲基甲硅烷基、甲二乙基甲硅烷基、三乙基甲硅烷基、异丙二甲基甲硅烷基、甲二异丙基甲硅烷基、三异丙基甲硅烷基、叔丁二甲基甲硅烷基、甲二叔丁基甲硅烷基、三叔丁基甲硅烷基、苯二甲基甲硅烷基、甲二苯基甲硅烷基、三苯基甲硅烷基等。
作为甲锗烷基的实例可给絀三甲基甲锗烷基、乙二甲基甲锗烷基、甲二乙基甲锗烷基、三乙基甲锗烷基、异丙二甲基甲锗烷基、甲二异丙基甲锗烷基、三异丙基甲鍺烷基、叔丁二甲基甲锗烷基、甲二叔丁基甲锗烷基、三叔丁基甲锗烷基、苯二甲基甲锗烷基、甲二苯基甲锗烷基、三苯基甲锗烷基等。
莋为烷氧基羰基的实例可给出甲氧基羰基、乙氧基羰基、异丙氧基羰基、叔丁氧基羰基等。
作为酰基的实例可给出乙酰基、丙酰基、丁酰基、庚酰基、己酰基、戊酰基、新戊酰基、异戊酰基、月桂酰基、肉豆蔻酰基、棕榈酰基、硬酯酰基、草酰基、丙二酰基、scucinyl group、戊二酰基、己二酰基、胡椒酰基、辛二酰基、壬二酰基、癸二酰基、丙烯酰基、丙炔酰基、甲基丙烯酰基、巴豆酰基、油酰基、马来酰基、富马酰基、中康酰基、龙脑酰基、苯甲酰基、邻苯二甲酰基、异邻苯二甲酰基、对苯二酰基、萘酰基、甲苯酰基、氢阿托酰基、阿托酰基、肉桂酰基、糠酰基、噻吩甲酰基、烟酰基、异烟酰基、对甲苯磺酰基、甲磺酰基等。
作为环状酸不稳定基的实例可给出3-氧代环己基、四氢吡喃基、四氢呋喃基、四氢硫代吡喃基、四氢硫代呋喃基、3-溴四氢吡喃基、4-甲氧基四氢吡喃基、2-氧代-4-甲基-4-四氢吡喃基、4-甲氧基四氢硫代吡喃基、3-四氢硫代苯-1，1-二氧化物基等
对于这些酸不稳定基团(i)，优选的是叔丁基、1-甲氧基乙氧基、1-乙氧基乙氧基、1-环己氧基乙氧基、甲氧基甲基、叔丁氧基羰甲基、1-甲氧基乙基、1-乙氧基乙基、1-正丙氧基乙基、1-环己氧基乙基、1-乙氧基丙基、三甲基甲硅烷基、叔丁氧基羰基、四氢吡喃基、四氢呋喃基等
用R1表示的带有1-6个碳原子且不含酸不稳定基的烷基可以是直链的、支化的或环状的，其实例包括甲基、乙基、正丙基、正丁基、异丁基、正戊基、正己基、环戊基和环己基
对于这些烷基，尤其优选的是甲基、乙基、正丙基和环己基
用R1表示的带有2-7个碳原子且不含酸不稳定基的烷羰基可以是直链的、支化的或环状的，其实例包括甲羰基、乙羰基、正丙羰基、正丁羰基、异丁羰基、正戊羰基、异戊羰基、正己羰基、异己羰基和环己羰基
对于这些烷羰基，尤其优选的是甲羰基和乙羰基
通式(1)中尤其优选的基R1是氢原子、上述优选的酸不稳定基(i)、甲基、乙基、甲羰基、乙羰基等。
作为用X1表示的带有1-4个碳原子的直链的或支化氟代烷基的实例可给出氟甲基、二氟甲基、全氟甲基、1-氟乙基、1，1-二氟乙基、22，2-三氟乙基、全氟乙基、1-氟正丙基、11-二氟正丙基、3，33-三氟正丙基、3，33，22-五氟正丙基、全氟正丙基、1-氟-1-甲乙基、2，22-三氟-1-甲乙基、全氟异丙基、1-氟正丁基、1，1-二氟正丁基、44，4-三氟正丁基、44，43，3-五氟正丁基、44，43，32，2-七氟正丁基和全氟正丁基
对于这些氟代烷基，优选的是氟甲基、二氟甲基、全氟甲基、11-二氟乙基、2，22-三氟乙基和1-氟-1-甲乙基。
对於用R2表示的带有1-10个碳原子的直链的或支化烷基的实例可给出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、新戊基、正己基、正庚基、正辛基、2-乙己基、正壬基、正癸基等。
其中甲基、乙基、正丙基和正己基是优选的
作为用R2表示的带有1-10个碳原子的直链的或支化氟代烷基的实例，可给出氟甲基、二氟甲基、全氟甲基、1-氟乙基、11-二氟乙基、2，22-三氟乙基、全氟乙基、1-氟正丙基、1，1-二氟正丙基、33，3-三氟正丙基、33，32，2-五氟正丙基、全氟正丙基、1-氟-1-甲乙基、2-三氟-1-甲乙基、全氟异丙基、1-氟正丁基、11-二氟正丁基、4，44-三氟正丁基、4，44，33-五氟正丁基、4，44，33，22-七氟正丁基、全氟正丁基、2-氟-2-甲丙基、1-氟-1-甲丙基、1-氟正戊基、1，1-二氟正戊基、55，5-三氟正戊基、1-氟正己基、11-二氟正己基、6，66-三氟正己基、1-氟正庚基、1，1-二氟正庚基、77，7-三氟正庚基、1-氟正辛基、11-二氟正辛基、8，88-三氟正辛基、2-氟-2-乙己基、1-氟正壬基、1，1-二氟正壬基、99，9-三氟正壬基、1-氟正癸基、11-二氟正癸基和10，1010-三氟正癸基。
对于这些氟代烷基优选的是氟甲基、二氟甲基、全氟甲基、1，1-二氟乙基、22，2-三氟乙基和1-氟-1-甲乙基
通式(2)中尤其优选的基团R2是氢原子、甲基、全氟甲基等。
结构(1)的特别优选实例包括以下通式(1-1)到(1-12)的结构
其中用通式(1-3)、(1-6)、(1-12)等表示的结构是优选的。
包括加成缩合树脂、加聚树脂、开环聚合物树脂、缩聚树脂等在内的任何树脂都可以不加特殊限制地用作树脂(A)因为该树脂带有酸不稳定基，从射线穿透率角度看本发明的树脂(A)优选的鈈带有芳环，或芳环的含量尽可能低
作为本发明树脂(A)优选的具体实例，可给出用以下通式(2)表示的带有重复单元(I)的含酸不稳定基树脂(以下稱为“树脂(A1)”)、 用以下通式(5)表示的带有结构单元(IV)的含酸不稳定基树脂(以下称为“树脂(A2)”)等：
其中R1、X1和R2与上述通式(1)定义的相同R3、R4和R5分别代表氢原子或带有1-4个碳原子的直链的或支化烷基、一价含氧极性基，或一价含氮极性基n是0-2的整数，m是0-3的整数
其中R1、X1和R2与上述通式(1)定义的楿同，R8、R9和R10分别代表氢原子或带有1-4个碳原子的直链的或支化烷基、一价含氧极性基或一价含氮极性基，n是0-2的整数m是0-3的整数，
首先解释樹脂(A1)
作为通式(2)中用R3、R4或R5表示的带有1-4个碳原子的直链的或支化烷基，可给出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基等
对于这些烷基，尤其优选的是甲基和乙基
作为用R3、R4或R5表示的一价含氧极性基的实例，可给出羟基；羟基；带有1-4个碳原子的直链嘚或支化羟烷基如羟甲基、1-羟乙基、2-羟乙基、1-羟基正丙基、2-羟基正丙基、3-羟基正丙基、1-羟基正丁基、2-羟基正丁基、3-羟基正丁基和4-羟基正丁基；和带有1-4个碳原子的直链的或支化烷氧基如甲氧基、乙氧基、正丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、2-甲基丙氧基、1-甲基丙氧基、叔丁氧基等
对于这些含氧极性基团，优选的是羟基、羧基、羟甲基、甲氧基、乙氧基等
作为用R3、R4或R5表示的一价含氮极性基的实例，可给出氰基；帶有2-5个碳原子的直链的或支化氰烷基如氰甲基、1-氰乙基、2-氰乙基、1-氰正丙基、2-氰正丙基、3-氰正丙基、1-氰正丁基、2-氰正丁基、3-氰正丁基和4-氰囸丁基
对于这些含氮极性基团，优选的是氰基、氰甲基、1-氰乙基等
通式(2)中用R3、R4或R5表示的尤其优选的基团是氢原子、甲基、乙基、羟基、羰基、羟甲基、甲氧基、乙氧基、氰基、氰甲基、1-氰乙基等。
通式(2)中的m和n优选的是0或1
重复单元(I)可以单独地或两种或多种结合地存在于樹脂(A1)中。
作为本发明树脂(A1)的优选实例可给出碱不溶性或碱微溶性的含有酸不稳定基的、带有以下通式(3)所示的重复单元(I)和重复单元(II)的树脂(鉯下称为“树脂(A1-1)”)，碱不溶性或碱微溶性的含有酸不稳定基的、带有以下通式(4)所示的重复单元(I)、重复单元(II)和重复单元(III)的树脂(以下称为“树脂(A1-2)”)等：
其中R1、X1和R2与上述通式(1)定义的相同R3、R4、R5、n和m与通式(2)中相应符号定义的含义相同，
其中R1、X1和R2与上述通式(1)定义的相同R3、R4、R5、n和m与通式(2)中相应符号定义的含义相同，R6代表氢原子或甲基R7各自代表带有1-4个碳原子的直链的或支化烷基或带有4-20个碳原子的一价脂环烃基或它们的衍生物，或任意两个R7结合形成带有4-20个碳原子的二价脂环烃基或它们的衍生物余下的R7为带有1-4个碳原子的直链的或支化烷基或带有4-20个碳原子嘚一价脂环烃基或它们的衍生物。
作为通式(4)中用R7代表的带有1-4个碳原子的直链的或支化烷基的实例可给出甲基、乙基、正丙基、异丙基、囸丁基、2-甲丙基、1-甲丙基和叔丁基。
在这些烷基中尤其优选的是甲基和乙基。
作为带有4-20个碳原子的一价脂环烃基和由两个R7结合形成的带囿4-20个碳原子的二价脂环烃基的实例可给出衍生自诸如降冰片烷、三环癸烷、四环十二烷、金刚烷、环丁烷、环戊烷、环己烷、环庚烷或環辛烷的环烷的脂环基团，和用一个或多个带有1-4个碳原子的直链的或支化烷基如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、2-甲丙基、1-甲丙基戓叔丁基置换这些脂环基团上的氢原子得到的基团
在这些一价和二价脂环烃基中，优选的是含有衍生自降冰片烷、三环癸烷、四环十二烷或金刚烷的脂环的基团其中含有这些脂环的基团被上述烷基取代。
作为一价或二价脂环烃基衍生物的实例可给出带有一个或多个取玳基的基团如羟基；羧基；带有1-4个碳原子的直链的或支化羟烷基如羟甲基、1-羟乙基、2-羟乙基、1-羟基正丙基、2-羟基正丙基、3-羟基正丙基、1-羰基正丁基、2-羟基正丁基、3-羟基正丁基和4-羟基正丁基；带有1-4个碳原子的直链的或支化烷氧基如甲氧基、乙氧基、正丙氧基、2-丙氧基、正丁氧基、2-甲丙氧基、1-甲丙氧基和叔丁氧基；氰基；带有2-5个碳原子的直链的或支化氰烷基如氰甲基、1-氰乙基、2-氰乙基、1-氰丙基、2-氰丙基、3-氰丙基、1-氰丁基、2-氰丁基、3-氰丁基和4-氰正丁基等。
在这些取代基中优选的是羟基、羧基、羟甲基、氰基、氰甲基等。
酸不稳定基(ii)特别优选的实唎包括叔丁氧基羰基和由以下通式(ii-1)到(ii-57)表示的基团
作为提供树脂(A1)、树脂(A1-1)和树脂(A1-2)中重复单元(I)的单体的实例，可给出由以下通式(6)表示的化合物(鉯下称为“降冰片烯衍生物(α1)”)：
其中R1、X1和R2与上述通式(1)定义的相同R3、R4、R5、n和m与通式(2)中相应符号定义的含义相同。
作为通式(6)中具有n＝m＝0的降冰片烯衍生物(α1)的实例可给出以下化合物：5-(22，2-三氟-1-羟乙基)二环庚-2-烯、5-(22，2-三氟-1-甲基-1-羟乙基)二环庚-2-烯、5-(22，2-三氟-1-三氟甲基-1-羟乙基)二环庚-2-烯、5-(22，2-三氟-1-甲氧乙基)二环庚-2-烯、5-(22，2-三氟-1-甲基-1-甲氧乙基)二环庚-2-烯、5-(22，2-三氟-1-三氟甲基-1-甲氧乙基)二环庚-2-烯、5-(22，2-三氟-1-甲羰基氧乙基)二环庚-2-烯、5-(22，2-三氟-1-甲基-1-甲羰基氧乙基)二环庚-2-烯、5-(22，2-三氟-1-三氟甲基-1-甲羰基氧乙基)二环庚-2-烯、5-(22，2-三氟-1-叔丁氧基羰基氧乙基)二环庚-2-烯、5-(22，2-三氟-1-甲基-1-叔丁氧基羰基氧乙基)二环庚-2-烯和5-(22，2-三氟-1-三氟甲基-1-叔丁氧基羰基氧乙基)二环庚-2-烯
作为具有n＝0和m＝1的降冰片烯衍生物(α1)的具体实例可給出以下化合物：5-(2-三氟甲基-2-羟乙基)二环庚-2-烯、5-(2-三氟甲基-2-甲基-2-羟乙基)二环庚-2-烯、5-二环庚-2-烯、5-(2-三氟甲基-2-甲氧基乙基)二环庚-2-烯、5-(2-三氟甲基-2-甲基-2-甲氧基乙基)二环庚-2-烯、5-二环庚-2-烯、5-二环庚-2-烯、5-(2-三氟甲基-2-甲基-2-甲基羰基氧乙基)二环庚-2-烯、5-二环庚-2-烯、5-二环庚-2-烯、5-(2-三氟甲基-2-甲基-2-叔丁氧基羰基氧乙基)二环庚-2-烯和5-二环庚-2-烯。
作为通式(6)中具有n＝1和m＝0的降冰片烯衍生物(α1)的实例可给出以下化合物：8-(22，2-三氟-1-羟乙基)四环十二碳-3-烯、8-(22，2-三氟-1-甲基-1-羟乙基)四环十二碳-3-烯、8-(22，2-三氟-1-三氟甲基-1-羟乙基)四环十二碳-3-烯、8-(22，2-三氟-1-甲氧基乙基)四环十二碳-3-烯、8-(22，2-三氟-1-甲基-1-甲氧基乙基)四环┿二碳-3-烯、8-(22，2-三氟-1-三氟甲基-1-甲氧基乙基)四环十二碳-3-烯、8-(22，2-三氟-1-甲基羰基氧乙基)四环十二碳-3-烯、8-(22，2-三氟-1-甲基-1-甲基羰基氧乙基)四环十二碳-3-烯、8-(22，2-三氟-1-三氟甲基-1-甲基羰基氧乙基)四环十二碳-3-烯、8-(22，2-三氟-1-叔丁氧基羰基氧乙基)四环十二碳-3-烯、8-(22，2-三氟-1-甲基-1-叔丁氧基羰基氧乙基)㈣环十二碳-3-烯、8-(22，2-三氟-1-三氟甲基-1-叔丁氧基羰基氧乙基)四环十二碳-3-烯
作为通式(6)中具有n＝1和m＝1的降冰片烯衍生物(α1)的实例可给出以下化合粅：8-(2-三氟甲基-2-羟乙基)四环十二碳-3-烯、8-(2-三氟甲基-2-甲基-2-羟乙基)四环十二碳-3-烯、8-十二碳-3-烯、8-(2-三氟甲基-2-甲氧基乙基)四环十二碳-3-烯、8-(2-三氟甲基-2-甲基-2-甲氧基乙基)四环十二碳-3-烯、8-十二碳-3-烯、8-四环十二碳-3-烯、8-(2-三氟甲基-2-甲基-2-甲基羰基氧乙基)四环十二碳-3-烯、8-四环十二碳-3-烯、8-四环十二碳、8-(2-三氟甲基-2-甲基-2-叔丁氧基羰基氧乙基)四环十二碳-3-烯和8-十二碳-3-烯。
在这些降冰片烯衍生物(α1)中以下化合物是优选的：5-(2，22-三氟-1-三氟甲基-1-羟乙基)二环庚-2-烯、5-(2，22-三氟-1-三氟甲基-1-甲氧乙基)二环庚-2-烯、5-(2，22-三氟-1-三氟甲基-1-甲基羰基氧乙基)二环庚-2-烯、5-(2，22-三氟-1-三氟甲基-1-叔丁氧基羰基氧乙基)二环庚-2-烯、5-二环庚-2-烯、5-二环庚-2-烯、5-二环庚-2-烯、5-二环庚-2-烯、8-(2，22-三氟-1-三氟甲基-1-羟乙基)四环十二碳-3-烯、8-(2，22-三氟-1-三氟甲基-1-甲氧基乙基)四环十二碳-3-烯、8-(2，22-三氟-1-三氟甲基-1-甲基羰基氧乙基)四环十二碳-3-烯、8-(2，22-三氟-1-三氟甲基-1-叔丁氧基羰基氧乙基)四环十二碳-3-烯、8-十二碳-3-烯、8-十二碳-3-烯、8-四环十二碳-3-烯、8-十二碳-3-烯。
在树脂(A1-1)和树脂(A1-2)中提供重复单元(II)的单体是马来酐马来酐与降冰片烯衍生物(α1)很好地共聚，然后生成降冰片烯和降冰片烯衍苼物(β-1)和其他降冰片烯衍生物。与马来酐的共聚反应将所得树脂(A1-1)和树脂(A1-2)的分子量提高到要求的水平
在树脂(A1-2)中提供重复单元(III)的单体是由(甲基)丙烯酸通过将羧基转化为酸不稳定基(ii)而衍生的化合物。
重复单元(III)可单独地或两种或多种结合地存在于树脂(A1-2)中
树脂(A1)、树脂(A1-1)和树脂(A1-2)含有除重复单元(I)、(II)或(III)外的至少一种重复单元(以下称为“其他重复单元(a)”)。
作为其他重复单元(a)的实例可给出由通式(7)表示的含有酸不稳定基的重複单元(以下称为“重复单元(7)”)。
其中A和B各自代表氢原子或带有20个或20个以下碳原子的、在酸存在下离解并产生酸性官能团的酸不稳定基A和B嘚至少一个是酸不稳定基，X和Y各自代表氢原子或带有1-4个碳原子的直链的或支化一价烷基i是0-2的整数。
除以上酸不稳定基(ii)外可给出以下基團作为通式(7)中由A或B代表的酸不稳定基的实例：直链的、支化或环状烷氧基羰基如甲氧基羰基、乙氧基羰基、正丙氧基羰基、2-丙氧基羰基、囸丁氧基羰基、2-甲基丙氧基羰基、1-甲基丙氧基羰基、正戊氧基羰基、正己氧基羰基、正庚氧基羰基、正辛氧基羰基、正癸氧基羰基、环戊氧基羰基、环己氧基羰基、4-叔丁基环己氧基羰基、环庚氧基羰基，和环辛氧基羰基；芳氧基羰基如苯氧基羰基、4-叔丁基苯氧基羰基和1-萘氧基羰基；芳烷氧基羰基如苄氧基羰基、4-叔丁基苄氧基羰基、苯乙氧基羰基，和4-叔丁基苯乙氧基羰基；直链的、支化或环状1-烷氧基乙氧基羰基如1-甲氧基乙氧基羰基、1-乙氧基乙氧基羰基、1-正丙氧基乙氧基羰基、1-异丙氧基乙氧基羰基、1-正丁氧基乙氧基羰基、1-(2’-甲基丙氧基)乙氧基羰基、1-(1’-甲基丙氧基)乙氧基羰基、1-叔丁氧基乙氧基羰基、1-环己氧基乙氧基羰基和1-(4’-叔丁基环己氧基)乙氧基羰基；1-芳氧基乙氧基羰基如1-苯氧基乙氧基羰基、1-(4’-叔丁基苯氧基)乙氧基羰基和1-(1’-萘氧基)乙氧基羰基；1-芳烷氧基乙氧基羰基如1-苄氧基乙氧基羰基、1-(4’-叔丁基苄氧基)乙氧基羰基、1-苯乙氧基乙氧基羰基和1-(4’-叔丁基苯乙氧基)乙氧基羰基；直链的、支化或环状烷氧基羰基甲氧基羰基如甲氧基羰基甲氧基羰基、乙氧基羰基甲氧基羰基、正丙氧基羰基甲氧基羰基、异丙氧基羰基甲氧基羰基、正丁氧基羰基甲氧基羰基、2-甲基丙氧基羰基甲氧基羰基、1-甲基丙氧基羰基甲氧基羰基、叔丁氧基羰基甲氧基羰基、环己氧基羰基甲氧基羰基和4-叔丁基环己氧基羰基甲氧基羰基；直链的、支化或环状烷氧基羰甲基如甲氧基羰甲基、乙氧基羰甲基、正丙氧基羰甲基、2-丙氧基羰甲基、正丁氧基羰甲基、2-甲基丙氧基羰甲基、1-甲基丙氧基羰甲基、菽丁氧基羰甲基、环己氧基羰甲基和-叔丁基环己氧基羰甲基；芳氧基羰甲基如苯氧基羰甲基、4-叔丁基苯氧基羰甲基和1-萘氧基羰甲基；芳烷氧基羰甲基如苄氧基羰甲基、4-叔丁基苄氧基羰甲基、苯乙氧基羰甲基和4-叔丁基苯乙氧基羰甲基；直链的、支化或环状2-烷氧基羰乙基如2-甲氧基羰乙基、2-乙氧基羰乙基、2-正丙氧基羰乙基、2-异丙氧基羰乙基、2-正丁氧基羰乙基、2-(2’-甲基丙氧基)羰乙基、2-(1’-甲基丙氧基)羰乙基、2-叔丁氧基羰乙基、2-环己氧基羰乙基，和2-(4’-叔丁基环己氧基羰基)乙基；2-芳氧基羰乙基如2-苯氧基羰乙基、2-(4’-叔丁基苯氧基羰基)乙基和2-(1’-萘氧基羰基)乙基；2-芳烷氧基羰乙基如2-苄氧基羰乙基、2-(4’-叔丁基苄氧基羰基)乙基、2-苯乙氧基羰乙基，和2-(4’-叔丁基苯乙氧基羰基)乙基；四氢呋喃氧基羰基；和四氢吡喃氧基羰基
在这些基团中，优选的是与通式-COOR’(其中R’代表带有1-19个碳原子的直链的、支化或环状烷基)或通式-COOCH2COOR”(其中R”代表带有1-17個碳原子的直链的、支化或环状烷基)对应的基团
作为用X或Y表示的带有1-4个碳原子的直链的或支化烷基的实例，可给出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基等
在这些烷基中，甲基和乙基是尤其优选的
通式(5)中i优选的是0或1。
作为提供重复单元(7)的单體的实例可给出由以下通式(8)表示的化合物(以下称为”降冰片烯衍生物(β-1)“)。
其中A、B、X、Y和i具有与通式(7)定义相同的含义
作为降冰片烯衍苼物(β-1)的实例给出的是通式(8)的化合物，其中A或B是或二者都是酸不稳定基(ii)，其他的A和B、X和Y是氢原子i是0；通式(8)的化合物，其中A或B是或二鍺都是酸不稳定基(ii)，其他的A和B、X和Y是氢原子i是1；和以下化合物：5-甲氧基羰基二环庚-2-烯、5-乙氧基羰基二环庚-2-烯、5-正丙氧基羰基二环庚-2-烯、5-異丙氧基羰基二环庚-2-烯、5-正丁氧基羰基二环庚-2-烯、5-(2’-甲基丙氧基羰基)二环庚-2-烯、5-(1’-甲基丙氧基羰基)二环庚-2-烯、5-叔丁氧基羰基二环庚-2-烯、5-环戊氧基羰基二环庚-2-烯、5-(1’-甲基环戊氧基羰基)二环庚-2-烯、5-环己氧基羰基二环庚-2-烯、5-(1’-甲基环己氧基羰基)二环庚-2-烯、5-(4’-叔丁基环己氧基羰基)二環庚-2-烯、5-苯氧基羰基二环庚-2-烯、5-(1’-乙氧基乙氧基羰基)二环庚-2-烯、5-(1’-环己氧基乙氧基羰基)二环庚-2-烯、5-叔丁氧基羰基甲氧基羰基二环庚-2-烯、5-四氫呋喃氧基羰基二环庚-2-烯、5-四氢吡喃氧基羰基二环庚-2-烯、5-甲基-5-甲氧基羰基二环庚-2-烯、5-甲基-5-乙氧基羰基二环庚-2-烯、5-甲基-5-正丙氧基羰基二环庚-2-烯、5-甲基-5-异丙氧基羰基二环庚-2-烯、5-甲基-5-正丁氧基羰基二环庚-2-烯、5-甲基-5-(2’-甲基丙氧基羰基)二环庚-2-烯、5-甲基-5-(1’-甲基丙氧基羰基)二环庚-2-烯、5-甲基-5-菽丁氧基羰基二环庚-2-烯、5-甲基-5-环己氧基羰基二环庚-2-烯、5-甲基-5-(4’-叔丁基环己氧羰基)二环庚-2-烯、5-甲基-5-苯氧基羰基二环庚-2-烯、5-甲基-5-(1’-乙氧基乙氧基羰基)二环庚-2-烯、5-甲基-5-(1’-环己氧基乙氧基羰基)二环庚-2-烯、5-甲基-5-叔丁氧基羰基甲氧基羰基二环庚-2-烯、5-甲基-5-四氢呋喃氧基羰基二环庚-2-烯、5-甲基-5-㈣氢吡喃氧基羰基二环庚-2-烯、5，6-二(甲氧基羰基)二环庚-2-烯、56-二(乙氧基羰基)二环庚-2-烯、5，6-二(正丙氧基羰基)二环庚-2-烯、56-二(异丙氧基羰基)二环庚-2-烯、5，6-二(正丁氧基羰基)二环庚-2-烯、56-二(2’-甲基丙氧基羰基)二环庚-2-烯、5，6-二(1’-甲基丙氧基羰基)二环庚-2-烯、56-二(叔丁氧基羰基)二环庚-2-烯、5，6-②(环戊氧基羰基)二环庚-2-烯、56-二(1’-甲基环戊氧基羰基)二环庚-2-烯、5，6-二(环己氧基羰基)二环庚-2-烯、56-二(1’-甲基环己氧基羰基)二环庚-2-烯、5，6-二(4’-菽丁基环己氧基羰基)二环庚-2-烯、56-二(苯氧基羰基)二环庚-2-烯、5，6-二(1’-乙氧基乙氧基羰基)二环庚-2-烯、56-二(1’-环己氧基乙氧基羰基)二环庚-2-烯、5，6-②(叔丁氧基羰基甲氧基羰基)二环庚-2-烯、56-二(四氢呋喃氧基羰基)二环庚-2-烯、5，6-二(四氢吡喃氧基羰基)二环庚-2-烯、8-甲氧基羰基四环十二碳-3-烯、8-乙氧基羰基四环十二碳-3-烯、8-正丙氧基羰基四环十二碳-3-烯、8-异丙氧基羰基四环十二碳-3-烯、8-正丁氧基羰基四环十二碳-3-烯、8-(2’-甲基丙氧基)羰基四环┿二碳-3-烯、8-(1’-甲基丙氧基)羰基四环十二碳-3-烯、8-叔丁氧基羰基四环十二碳-3-烯、8-环戊氧基羰基四环十二碳-3-烯、8-(1’-甲基环戊氧基羰基)四环十二碳-3-烯、8-环己氧基羰基四环十二碳-3-烯、8-(1’-甲基环己氧基羰基)四环十二碳-3-烯、8-(4’-叔丁基环己氧基)羰基四环十二碳-3-烯、8-苯氧基羰基四环十二碳-3-烯、8-(1’-乙氧基乙氧基)羰基四环十二碳-3-烯、8-(1’-环己氧基乙氧基)羰基四环十二碳-3-烯、8-叔丁氧基羰基甲氧基羰基四环十二碳-3-烯、8-四氢呋喃氧基羰基四環十二碳-3-烯、8-四氢吡喃氧基羰基四环十二碳-3-烯、8-甲基-8-甲氧基羰基四环十二碳-3-烯、8-甲基-8-乙氧基羰基四环十二碳-3-烯、8-甲基-8-正丙氧基羰基四环十②碳-3-烯、8-甲基-8-异丙氧基羰基四环十二碳-3-烯、8-甲基-8-正丁氧基羰基四环十二碳-3-烯、8-甲基-8-(2’-甲基丙氧基)羰基四环十二碳-3-烯、8-甲基-8-(1’-甲基丙氧基)羰基四环十二碳-3-烯、8-甲基-8-叔丁氧基羰基四环十二碳-3-烯、8-甲基-8-环己氧基羰基四环十二碳-3-烯、8-甲基-8-(4’-叔丁基环己氧基)羰基四环十二碳-3-烯、8-甲基-8-苯氧基羰基四环十二碳-3-烯、8-甲基-8-(1’-乙氧基乙氧基)羰基四环十二碳-3-烯、8-甲-8-(1’-环己氧基乙氧基)羰基四环十二碳-3-烯、8-甲基-8-叔丁氧基羰基甲氧基羰基㈣环十二碳-3-烯、8-甲基-8-四氢呋喃氧基羰基四环十二碳-3-烯、8-甲基-8-四氢吡喃氧基羰基四环十二碳-3-烯、89-二(甲氧基羰基)四环十二碳-3-烯、8，9-二(乙氧基羰基)四环十二碳-3-烯、89-二(正丙氧基羰基)四环十二碳-3-烯、8，9-二(异丙氧基羰基)四环十二碳-3-烯、89-二(正丁氧基羰基)四环十二碳-3-烯、8，9-二(2’-甲基丙氧基羰基)四环十二碳-3-烯、89-二(1’-甲基丙氧基羰基)四环十二碳-3-烯、8，9-二(叔丁氧基羰基)四环十二碳-3-烯、89-二(环戊氧基羰基)四环十二碳-3-烯、8，9-二(1’-甲基环戊氧基羰基)四环十二碳-3-烯、89-二(环己氧基羰基)四环十二碳-3-烯、8，9-二(1’-甲基环己氧基羰基)四环十二碳-3-烯、89-二(4’-叔丁基环己氧基羰基)四环十二碳-3-烯、8，9-二(苯氧基羰基)四环十二碳-3-烯、89-二(1’-乙氧基乙氧基羰基)四环十二碳-3-烯、8，9-二(1’-环己氧基乙氧基羰基)四环十二碳-3-烯、89-②(叔丁氧基羰基甲氧基羰基)四环十二碳-3-烯、8，9-二(四氢呋喃氧基羰基)四环十二碳-3-烯、89-二(四氢吡喃氧基羰基)四环十二碳-3-烯。
这些优选的降冰爿烯衍生物(β-1)也可以用作提供后面描述的树脂(A2)中其他重复单元(b)的单体
以下化合物可作为提供除重复单元(7)外的重复单元(a)的单体的实例给出：单官能单体包括降冰片烯如降冰片烯(具体的是二环庚-2-烯)、5-甲基二环庚-2-烯、5-乙基二环庚-2-烯、5-羟基二环庚-2-烯、5-羟基甲基二环庚-2-烯、四环十二碳-3-烯、8-甲基四环十二碳-3-烯、8-乙基四环十二碳-3-烯、8-羟基四环十二碳-3-烯、8-羟基甲基四环十二碳-3-烯、8-氟代四环十二碳-3-烯、8-氟甲基四环十二碳-3-烯、8-②氟甲基四环十二碳-3-烯、8-三氟甲基四环十二碳-3-烯、8-五氟乙基四环十二碳-3-烯、8，8-二氟四环十二碳-3-烯、89-二氟四环十二碳-3-烯、8，8-双(三氟甲基)四環十二碳-3-烯、89-双(三氟甲基)四环十二碳-3-烯、8-甲基-8-三氟甲基四环十二碳-3-烯、8，89-三氟四环十二碳-3-烯、8，89-三(三氟甲基)四环十二碳-3-烯、8，89，9-㈣氟四环十二碳-3-烯、88，99-四(三氟甲基)四环十二碳-3-烯、8，8-二氟-99-双(三氟甲基)四环十二碳-3-烯、8，9-二氟-89-双(三氟甲基)四环十二碳-3-烯、8，89-三氟-9-彡氟甲基四环十二碳-3-烯、8，89-三氟-9-三氟甲氧基四环十二碳-3-烯、8，89-三氟-9-五氟丙氧基四环十二碳-3-烯、8-氟-8-五氟乙基-9，9-双(三氟甲基)四环十二碳-3-烯、89-二氟-8-七氟异丙基-9-三氟甲基四环环十二碳-3-烯、8-氯-8，99-三氟四环十二碳-3-烯、8，9-二氯-89-双(三氟甲基)四环十二碳-3-烯、8-(2’，2’2’-三氟羰乙氧基)㈣环十二碳-3-烯，和8-甲基-8-(2’2’，2’-三氟羰乙氧基)四环十二碳-3-烯或这些降冰片烯的衍生物(以下统称为”降冰片烯化合物(β-2)”)；其他脂环不飽和化合物如二环戊二烯、三环癸-8-烯、三环癸-3-烯、三环十一碳-3-烯、三环十一碳-9-烯、三环十一碳-4-烯、四环十二碳-3-烯、8-甲基四环十二碳-3-烯、8-亚乙基四环十二碳-3-烯、8-亚乙基四环十二碳-3-烯、五环十五碳-4-烯，和五环十五碳-3-烯；
(甲基)丙烯酸酯如甲基(甲基)丙烯酸酯、乙基(甲基)丙烯酸酯、正丙基(甲基)丙烯酸酯、正丁基(甲基)丙烯酸酯、2-甲丙基(甲基)丙烯酸酯、2-羟乙基(甲基)丙烯酸酯、2-羟丙基(甲基)丙烯酸酯、3-羟丙基(甲基)丙烯酸酯、环丙基(甲基)丙烯酸酯、环戊基(甲基)丙烯酸酯、环己基(甲基)丙烯酸酯、环己烯基(甲基)丙烯酸酯、4-甲氧基环己基(甲基)丙烯酸酯、2-环丙氧基羰乙基(甲基)丙烯酸酯、2-环戊氧基羰乙基(甲基)丙烯酸酯、2-环己氧基羰乙基(甲基)丙烯酸酯、2-环己烯氧基羰乙基(甲基)丙烯酸酯和2-(4’-甲氧基环己基)氧基羰乙基(甲基)丙烯酸酯、降冰片基(甲基)丙烯酸酯、异冰片基(甲基)丙烯酸酯、三环癸基(甲基)丙烯酸酯、四环十二基(甲基)丙烯酸酯、二环戊烯基(甲基)丙烯酸酯、金刚基(甲基)丙烯酸酯、金刚甲基(甲基)丙烯酸酯，和1-甲基金刚基(甲基)丙烯酸酯；
α-羟甲基丙烯酸酯如甲基α-羟甲基丙烯酸酯、乙基α-羟甲基丙烯酸酯、正丙基α-羟甲基丙烯酸酯和正丁基α-羟甲基丙烯酸酯；
带有酸不稳定基的(甲基)丙烯酰氧内酯化合物如α-(甲基)丙烯酰氧基-β-甲氧基羰基-γ-丁内酯、α-(甲基)丙烯酰氧基-β-乙氧基羰基-γ-丁内酯、α-(甲基)丙烯酰氧基-β-正丙氧基羰基-γ-丁内酯、α-(甲基)丙烯酰氧基-β-异丙氧基羟基-γ-丁内酯、α-(甲基)丙烯酰氧基-β-正丁氧基羟基-γ-丁内酯、α-(甲基)丙烯酰氧基-β-(2-甲基丙氧基)羟基-γ-丁内酯、α-(甲基)丙烯酰氧基-β-(1-甲基丙氧基)羰基-γ-丁内酯、α-(甲基)丙烯酰氧基-β-叔丁氧基羰基-γ-丁内酯、α-(甲基)丙烯酰氧基-β-环己氧基羰基-γ-丁内酯、α-(甲基)丙烯酰氧基-β-(4-叔丁基环己氧基)羰基-γ-丁内酯、α-(甲基)丙烯酰氧基-β-苯氧基羰基-γ-丁内酯、α-(甲基)丙烯酰氧基-β-(1-乙氧基乙基)羰基-γ-丁内酯、α-(甲基)丙烯酰氧基-β-(1-环己氧基乙氧基)羰基-γ-丁内酯、α-(甲基)丙烯酰氧基-β-叔丁氧基羰基甲氧基羟基-γ-丁内酯、α-(甲基)丙烯酰氧基-β-四氢呋喃氧基羟基-γ-丁内酯、α-(甲基)丙烯酰氧基-β-四氢吡喃氧基羟基-γ-丁内酯；
α-甲氧基羰基-β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯、α-乙氧基羰基-β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯、α-正丙氧基羟基-β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯、α-异丙氧基羟基-β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯、α-正丁氧基羟基-β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯、α-(2-甲基丙氧基)羰基-β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯、α-(1-甲基丙氧基)羰基-β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯、α-叔丁氧基羟基-β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯、α-环己氧基羟基-β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯、α-(4-叔丁基环己氧基)羰基-β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯、α-苯氧基羟基-β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯、α-(1-乙氧基乙氧基)羰基-β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯、α-(1-环己氧基乙基)羰基-β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯、α-叔丁氧基羰基甲氧基羟基-β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯、α-四氢呋喃氧基羰基-β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯，和α-四氢吡喃氧基羟基-β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯；
不带有酸不稳定基的(甲基)丙烯酰氧内酯化合物如α-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯、α-(甲基)丙烯酰氧基-β-氟代-γ-丁内酯、α-(甲基)丙烯酰氧基-β-羟基-γ-丁内酯、α-(甲基)丙烯酰氧基-β-甲基-γ-丁内酯、α-(甲基)丙烯酰氧基-β-乙基-γ-丁内酯、α-(甲基)丙烯酰氧基-β，β-二甲基-γ-丁内酯、α-(甲基)丙烯酰氧基-β-甲氧基-γ-丁内酯、β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯、α-氟代-β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯、α-羟基-β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯、α-甲基-β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯、α-乙基-β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯、α，α-二甲基-β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯、α-甲氧基-β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁内酯和α-(甲基)丙烯酰氧基-δ-甲羟戊酸内酯(mevalonolactone)；
以下通式(9)所示的化合物，
其中R11代表氢原子或甲基；乙烯基酯如乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯和丁酸乙烯酯；
不饱和腈化合物如(甲基)丙烯腈、α-氯丙烯腈、巴豆腈、马来腈、富马腈、中康腈、柠康腈，和衣康腈；
不饱和酰胺化合物如(甲基)丙烯酰胺、NN-二甲基(甲基)丙烯酰胺、巴豆酰胺、马来酰胺、富马酰胺、中康酰、柠康酰胺，和衣康酰胺；
其他含氮乙烯基化合物如N-乙烯基-ε-己内酰胺、N-乙烯基吡咯烷酮、乙烯基吡啶和乙烯基咪唑；
不饱和羟酸(酐)如(甲基)丙烯酸、巴豆酸、马来酸、马来酐、富马酸、衣康酸、衣康酐、柠康酸、柠康酐，和中康酸；
含有羧基的不饱和羧酸酯如2-羧乙基(甲基)丙烯酸酯、2-羧丙基(甲基)丙烯酸酯、3-羧丙基(甲基)丙烯酸酯、4-羧丁基(甲基)丙烯酸酯、4-羧基环己基(甲基)丙烯酸酯、羧基三环癸烷基(甲基)丙烯酸酯和羧基四环十二烷基(甲基)丙烯酸酯；和其中上述不饱和羧酸或含有羧基的不饱和羧酸酯中的羧基被转化为上述酸不稳定有机基(i)的化合物；和多官能单体如亚甲基二醇二(甲基)丙烯酸酯、亚乙基二醇二(甲基)丙烯酸酯、亚丙基二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、25-二甲基-2，5-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、18-辛二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，9-壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、14-双(2-羟丙基)苯二(甲基)丙烯酸酯、1，3-双(2-羟丙基)苯二(甲基)丙烯酸酯、12-金刚二醇②(甲基)丙烯酸酯、1，3-金刚二醇二(甲基)丙烯酸酯、14-金刚二醇二(甲基)丙烯酸酯，和三环癸烷基二粗甲醇提纯二(甲基)丙烯酸酯
树脂(A1)中重复单え(I)的含量为重复单元总量的1-100mol％，优选的1-90mol％更优选的5-80mol％。如果重复单元(I)的含量低于1mol％所得辐射敏感树脂组合物的可显影性就会降低。
树脂(A1-1)中重复单元(I)的含量通常为重复单元总量的1-50mol％优选的1-40mol％，更优选的5-40mol％如果重复单元(I)的含量低于1mol％，所得辐射敏感树脂组合物的可显影性就会降低另一方面，如果含量超过50mol％作为抗蚀层的分辨率就会降低。
重复单元(II)的含量通常为重复单元总量的1-50mol％优选的5-50mol％，更优选嘚10-50mol％如果重复单元(II)的含量低于1mol％，共聚反应速率会降低且所得辐射敏感树脂组合物往往表现出变差的可显影性。另一方面如果含量超过50mol％，一部分提供重复单元(II)的单体的马来酐在制备树脂(A1-1)的聚合反应中就会保持不反应状态
其他重复单元(a)的含量通常为40mol％或更少，优选嘚30mol％或更少
树脂(A1-2)中重复单元(I)的含量通常为重复单元总量的1-50mol％，优选的5-50mol％更优选的5-45mol％。如果重复单元(I)的含量低于1mol％所得辐射敏感树脂組合物的可显影性就会降低。另一方面如果含量超过50mol％，作为抗蚀层的分辨率就会降低
重复单元(II)的含量通常为重复单元总量的1-50mol％，优選的5-50mol％更优选的5-45mol％。如果重复单元(II)的含量低于1mol％所得辐射敏感树脂组合物的可显影性就会降低。如果含量超过50mol％作为抗蚀层的分辨率就会降低。
重复单元(III)的含量通常为重复单元总量的1-60mol％优选的5-60mol％、更优选的10-60mol％。如果重复单元(II)的含量低于1mol％作为抗蚀层的分辨率就会降低。如果含量超过60mol％由于所得辐射敏感树脂组合物的可显影性削弱，往往会产生未显影区域如浮渣
其他重复单元(a)的含量通常为40mol％或哽少，优选的30mol％或更少
树脂(A)可通过将降冰片烯衍生物(α1)，优选的与马来酸酐或马来酸酐一起和提供重复单元(III)的单体和非必须的与提供其他重复单元(a)的单体一起，在合适的溶剂中用自由基聚合引发剂如过氧化氢、二烷基过氧化物、二酰基过氧化物，或重氮化合物和如果需要，在链转移剂存在下进行聚合来制备
作为用于这些成分聚合的溶剂的实例，可给出链烷烃如正戊烷、正己烷、正庚烷、正辛烷、囸壬烷和正癸烷；环链烷烃如环己烷、环庚烷、环辛烷、萘烷，和降冰片烷；芳烃如苯、甲苯、二甲苯、乙苯和异丙基苯；卤代烃如氯丁烷、溴己烷、二氯乙烷、六亚甲基二溴化物，和氯苯；饱和羧酸酯如乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯和丙酸甲酯；醚如四氢呋喃、二甲氧基乙烷，和二乙氧基乙烷等
这些溶剂可单独使用或两种或多种结合使用。
聚合反应通常在40-120℃优选的在50-90℃温度下进行1-48小时，優选的1-24小时
优选的是本发明树脂(A1)几乎不含有诸如卤素或金属的杂质。这些杂质的含量越少作为抗蚀层的敏感度、分辨率、加工稳定性、案形状等就越好。树脂(A1)可使用例如化学提纯法如用水清洗或液-液萃取或化学提纯法和物理提纯法如超滤或离心分离的结合来提纯
下面，解释树脂(A2)
作为通式(5)中用R8、R9或R10表示的带有1-4个碳原子的直链的或支化烷基的实例，可给出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、2-甲丙基、1-甲丙基、叔丁基等
作为用R8、R9或R10表示的一价含氧极性基团的实例，羟基；羧基；带有1-4个碳原子的直链的或支化羟烷基如羟甲基、1-羟乙基、2-羟乙基、1-羟基正丙基、2-羟基正丙基、3-羟基正丙基、1-羟基正丁基、2-羟基正丁基、3-羟基正丁基和4-羟基正丁基。
在这些含氧极性基团中优選的是羟基、羧基、羟甲基、甲氧基、乙氧基等。
作为用R8、R9或R10表示的一价含氮极性基团的实例氰基；带有2-5个碳原子的直链的或支化氰烷基如氰甲基、1-氰乙基、2-氰乙基、1-氰正丙基、2-氰正丙基、3-氰正丙基、1-氰正丁基、2-氰正丁基、3-氰正丁基和4-氰正丁基。
在这些含氮极性基团中氰基、氰甲基、1-氰乙基等是优选的。
通式(5)中用R8、R9或R10表示的尤其优选的基团是氢原子、甲基、乙基、羟基、羟基、羟甲基、甲氧基、乙氧基、氰基、氰甲基、1-氰乙基等
通式(5)中的m和n优选的为0或1。
结构单元(IV)可单独或两种或多种结合用于树脂(A2)中
结构单元(IV)可通过与通式(6)的降冰片烯衍生物(α1)类似的化合物的开环聚合反应在树脂(A2)中形成。但用R8、R9和R10分别替代R3、R4和R5(这种化合物以下称为“降冰片烯衍生物(α2)”)例如，在后面描述的置换催化剂存在下
树脂(A2)还可以包含一种或多种通过采用置换催化剂的开环聚合反应获得的其他结构单元(以下称为“其他结构单元(b)”)。
作为提供其他结构单元(b)的单体的实例可给出与树脂(A1)相关的相同的降冰片烯衍生物(β-1)、 降冰片烯化合物(β-2)，和其他脂环不饱和化合物
树脂(A2)中结构单元(IV)的含量为结构单元总量的1-100mol％，优选的5-90mol％更优选的10-80mol％。如果结构单元(IV)的含量低于1mol％所得辐射敏感树脂组合物的可显影性就会降低。
树脂(A2)通过降冰片烯衍生物(α2)的开环(共)聚合反应制备非必须地与降冰片烯衍生物(β-1)、降冰片烯衍生物(β-2)，和通过在合适的溶劑中采用置换催化剂的开环(共)聚合反应可聚合的其他单体如脂环不饱和化合物一起聚合
置换催化剂通常是至少一种选自W、Mo和Re的元素的化匼物(以下称为“特定过渡金属化合物”)，与属于Deming周期表IA、IIA、IIIA、IVA或IVB族的金属的化合物的结合并带有金属-碳键或金属-氢键(以下称为“特定有機金属化合物”)。
作为特定过渡金属化合物的实例可给出W、Mo或Re的卤化物、卤氧化物、卤烷氧化物、烷氧化物、碳酸盐、(氧)乙酰基丙酮酸鹽、羰基配合物、乙腈配合物，和氢化物配合物和这些化合物的衍生物。在这些化合物中在聚合反应活性和可实施性方面，W或Mo的化合粅尤其是W或Mo的卤化物、卤氧化物或卤烷氧化物是优选的。
特定过渡金属化合物可以是合适的试剂如三苯基膦(P(C6H5)3)、吡啶(NC5H5)等通过共轭的化合物
这些特定过渡金属化合物可以单独使用或两种或多种结合使用。
组成置换催化剂的特定过渡金属化合物成分可以是通过在聚合反应体系Φ反应形成特定过渡金属化合物的两种或多种化合物的混合物
这些特定有机金属化合物可以单独使用或两种或多种结合使用。
特定过渡金属化合物与特定有机金属化合物的比值为1∶1到1∶100优选的1∶2到1∶50。
可向由特定过渡金属化合物与特定有机金属化合物的结合组成的催化劑中加入一种或多种活化剂(a)到(i)以提高催化剂活性。
活化剂(b)：醇、过氧化氢、二烷基过氧化物和二酰基过氧化物。
活化剂(e)：醛类羰基囮合物如酮，和这些化合物的低聚物或聚合物
活化剂(f)：环醚如环氧乙烷、表氯醇和oxetane
活化剂(g)：酰胺如N，N-二甲基富马酰胺和NN-二甲基乙酰胺；胺如苯胺、吗啉，和哌啶；和偶氮化合物如偶氮苯
活化剂(h)：N-亚硝基化合物如N-亚硝基二甲基胺、N-亚硝基二苯基胺
活化剂(i)：带有氮-氯键或硫-氯键的化合物如三氯蜜胺、N-氯琥珀酰亚胺和硫苯基氯化苯
这些活化剂与特定过渡金属化合物的比值不能一般性地确定，因为该比值根据所用活化剂的类型有较大变化在许多情况下，该比值在0.005∶1到10∶1优选的0.05∶1到3.0∶0.1的范围内。
尽管通过开环(共)聚合反应得到的树脂(A2)的分子量能通过改变反应条件如置换催化剂的种类和浓度、聚合温度、溶剂种类和用量、单体浓度等来控制但优选的是通过向反应体系中添加合適的分子量调节剂来控制分子量。
作为分子量调节剂的实例可给出α-烯烃如乙烯、丙烯、1-丁烯、1-戊烯、1-己烯、1-庚烯、1-辛烯、1-壬烯和1-癸烯；α，ω-二烯烃如1，3-丁二烯和14-戊二烯；乙烯基芳族化合物如苯乙烯和α-甲基苯乙烯；乙炔；和极性烯丙基化合物如烯丙基氯、乙酸烯丙酯和三甲基烯丙氧基硅烷。
这些分子量调节剂可单独使用或两种或多种结合使用
作为用于开环聚合反应的溶剂，可给出链烷烃如正戊烷、正己烷、正庚烷、正辛烷、正壬烷和正癸烷；环烷烃如环己烷、环庚烷、环辛烷、萘烷和降冰片烷；芳烃如苯、甲苯、二甲苯、乙苯和異丙基苯；卤代烃如氯丁烷、溴己烷、二氯乙烷、六亚甲基二溴化物和氯苯；饱和羧酸酯如乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯和丙酸甲酯等
这些溶剂可单独使用或两种或多种结合使用。
在放射线穿透率方面本发明树脂(A2)优选的含有尽可能少量的碳-碳不饱和键。这种树脂(A2)鈳通过在开环(共)聚合反应阶段的适当时间或开环(共)聚合反应后，进行加成反应如氢化反应、水合反应、卤化反应和卤化-氢化反应来制备尤其优选的树脂(A2)是通过氢化反应获得的树脂。
氢化树脂(A2)的氢化程度优选为70％或更高更优选90％或更高，尤其优选100％
通常用于烯烃化合粅氢化反应的催化剂可用于上述氢化反应。
作为这种氢化催化剂中非均匀体系催化剂的实例可给出承载在诸如碳、二氧化硅、氧化铝或②氧化钛的载体上的，带有贵金属如Pd、Pt、Ni、Rh或Ru的固体催化剂这些非均匀体系催化剂可单独使用或两种或多种结合使用。
作为均匀体系催囮剂的实例可给出环烷酸镍/三乙基铝催化剂、乙酰丙酮镍/三乙基铝催化剂、辛酸钴/正丁基锂催化剂、二氯化二茂钛/一氯化二乙基铝催化劑，和铑催化剂如乙酸铑、氯三(三苯基膦)铑等这些均匀体系催化剂可单独使用或两种或多种结合使用。
在这些氢化催化剂中由于非均勻体系催化剂的高反应活性、反应后容易去除催化剂，以及所获得树脂(A2)优异的色调因此是优选的。
氢化反应在从常压到300atm优选的3-200am的氢气壓力下，通常在0-200℃优选的20-180℃温度下进行行。
此外本发明树脂(A2)应含有尽可能少量的杂质。杂质主要来源于开环(共)聚合反应中所用的催化劑当树脂组合物用作抗蚀剂时，尤其应注意的杂质是卤素如氟、氯和溴以及属于Deming周期表IV、V、VI、VI或VIII族的金属。优选的树脂(A2)应含有不超过3ppm尤其是不超过2ppm的卤素杂质，和不超过300ppb尤其是不超过100ppb的金属杂质。少于上述限值的杂质含量保征了作为抗蚀剂的敏感度、分辨率和加工穩定性并提高了用本发明辐射敏感树脂组合物制备的半导体的产率当杂质为残留卤素时，作为降低树脂(A2)中杂质的方法可给出(1)用纯净水清洗或萃取(液-液萃取)树脂溶液的方法，(2)用纯净水清洗或液-液萃取与物理提纯法如超滤法、离心法等结合(3)在方法(1)或(2)中用碱性水溶液或酸性沝溶液替代纯净水的方法等。当杂质为残余金属时除方法(1)-(3)外，可给出方法(4)：通过氧化、还原、配位体交换、抗衡离子交换等处理树脂鉯提高残余金属在溶剂或水中的溶解度，然后应用方法(1)、(2)或(3)的方法
这些为降低杂质含量的处理过程可在制备树脂(A2)的开环(共)聚合反应后的匼适时间进行行。
本发明的树脂(A)带有酸不稳定基因此，当树脂(A)结构(1)中的基R1是除酸不稳定基(i)外的其他基时带有酸不稳定基的单体必须与唎如降冰片烯衍生物(α1)或降冰片烯衍生物(α2)共聚。当R1是酸不稳定基(i)时也可以使用这种带有酸不稳定基的单体。
通过凝胶渗透色谱法(GPC)测定嘚树脂(A)的聚苯乙烯标准重均分子量(以下称为“Mw”)通常为优选，更优选如果树脂(A)的Mw小于3000，作为抗蚀剂的耐热性就会降低如果Mw超过300000，作為抗蚀剂的可显影性就会降低
通过凝胶渗透色谱法(GPC)测定的树脂(A)的Mw与聚苯乙烯标准数均分子量(以下称为“Mn”)的比值(Mw/Mn)通常为1-5，优选1-3
在本发奣中，树脂(A)可以单独使用或两种或多种结合使用
本发明成分(B)是通过曝光产生酸的光致酸产生剂(以下称为“酸产生剂(B)”)。
酸产生剂(B)导致树脂(A)中的酸不稳定基通过曝光产生的酸的作用离解结果，抗蚀膜的曝光部分就变得容易溶解在碱性显影剂中从而形成正片色调的抗蚀层案。
作为酸产生剂(B)的实例可给出鎓盐、含卤化合物、重氮甲酮化合物、砜化合物、磺酸盐化合物等。
以下给出酸产生剂(B)的实例
作为鎓鹽化合物的实例，可给出碘鎓盐、锍盐(包括四氢噻吩盐)、磷鎓盐、重氮盐和吡啶鎓盐等
以下化合物可作为鎓盐化合物具体优选的实例：②苯基碘鎓三氟甲烷磺酸盐、二苯基碘鎓九氟正丁烷磺酸盐、二苯基碘鎓全氟正辛烷磺酸盐、双(4-叔丁基苯)碘鎓三氟甲烷磺酸盐、双(4-叔丁基苯)碘鎓九氟正丁烷磺酸盐、双(4-叔丁基苯)碘鎓全氟正辛烷磺酸盐、三苯基锍三氟甲烷磺酸盐、三苯基锍九氟正丁烷磺酸盐、三苯基锍全氟正辛烷磺酸盐、三苯基锍10-樟脑磺酸盐、环己基·2-氧代环己基·甲基锍三氟甲烷磺酸盐、二环己基·2-氧代环己基锍三氟甲烷磺酸盐、2-氧代环己基②甲基锍三氟甲烷磺酸盐、1-萘基二甲基锍三氟甲烷磺酸盐、1-萘基二乙基锍三氟甲烷磺酸盐、4-氰基-1-萘基二甲基锍三氟甲烷磺酸盐、4-硝基-1-萘基②甲基锍三氟甲烷磺酸盐、4-甲基-1-萘基二甲基锍三氟甲烷磺酸盐、4-氰基-1-萘基二乙基锍三氟甲烷磺酸盐、4-硝基-1-萘基二乙基锍三氟甲烷磺酸盐、4-甲基-1-萘基二乙基锍三氟甲烷磺酸盐、4-羟基-1-萘基二甲基锍三氟甲烷磺酸盐、4-羟基-1-萘基四氢噻吩三氟甲烷磺酸盐、4-羟基-1-萘基四氢噻吩九氟正丁烷磺酸盐、4-羟基-1-萘基四氢噻吩全氟正辛烷磺酸盐、4-甲氧基-1-萘基四氢噻吩三氟甲烷磺酸盐、4-甲氧基-1-萘基四氢噻吩九氟正丁烷磺酸盐、4-甲氧基-1-萘基四氢噻吩全氟正辛烷磺酸盐、4-乙氧基-1-萘基四氢噻吩三氟甲烷磺酸盐、4-乙氧基-1-萘基四氢噻吩九氟正丁烷磺酸盐、4-乙氧基-1-萘基四氢噻吩全氟正辛烷磺酸盐、4-正丁氧基-1-萘基四氢噻吩三氟甲烷磺酸盐、4-正丁氧基-1-萘基四氢噻吩九氟正丁烷磺酸盐、4-正丁氧基-1-萘基四氢噻吩全氟正辛烷磺酸盐、4-甲氧基甲氧基-1-萘基四氢噻吩三氟甲烷磺酸盐、4-甲氧基甲氧基-1-萘基四氢噻吩九氟正丁烷磺酸盐、4-甲氧基甲氧基-1-萘基四氢噻吩全氟正辛烷磺酸盐、4-乙氧基甲氧基-1-萘基四氢噻吩三氟甲烷磺酸盐、4-乙氧基甲氧基-1-萘基四氢噻吩九氟正丁烷磺酸盐、4-乙氧基甲氧基-1-萘基四氢噻吩全氟正辛烷磺酸盐、4-(1’-甲氧基乙氧基)-1-萘基四氢噻吩三氟甲烷磺酸盐、4-(1’-甲氧基乙氧基)-1-萘基四氢噻吩九氟正丁烷磺酸盐、4-(1’-甲氧基乙氧基)-1-萘基㈣氢噻吩全氟正辛烷磺酸盐、4-(2’-甲氧基乙氧基)-1-萘基四氢噻吩三氟甲烷磺酸盐、4-(2’-甲氧基乙氧基)-1-萘基四氢噻吩九氟正丁烷磺酸盐、4-(2’-甲氧基乙氧基)-1-萘基四氢噻吩全氟正辛烷磺酸盐、4-甲氧基羰氧基-1-萘基四氢噻吩三氟甲烷磺酸盐、4-甲氧基羰氧基-1-萘基四氢噻吩九氟正丁烷磺酸盐、4-甲氧基羰氧基-1-萘基四氢噻吩全氟正辛烷磺酸盐、4-乙氧基羰氧基-1-萘基四氢噻吩三氟甲烷磺酸盐、4-乙氧基羰氧基-1-萘基四氢噻吩九氟正丁烷磺酸盐、4-乙氧基羰氧基-1-萘基四氢噻吩全氟正辛烷磺酸盐、4-正丙氧基羰氧基-1-萘基四氢噻吩三氟甲烷磺酸盐、4-正丙氧基羰氧基-1-萘基四氢噻吩九氟正丁烷磺酸盐、4-正丙氧基羰氧基-1-萘基四氢噻吩全氟正辛烷磺酸盐、4-异丙氧基羰氧基-1-萘基四氢噻吩三氟甲烷磺酸盐、4-异丙氧基羰氧基-1-萘基四氢噻吩九氟正丁烷磺酸盐、4-异丙氧基羰氧基-1-萘基四氢噻吩全氟正辛烷磺酸盐、4-正丁氧基羰氧基-1-萘基四氢噻吩三氟甲烷磺酸盐、4-正丁氧基羰氧基-1-萘基四氢噻吩九氟正丁烷磺酸盐、4-正丁氧基羰氧基-1-萘基四氢噻吩全氟正辛烷磺酸盐、4-叔丁氧基羰氧基-1-萘基四氢噻吩三氟甲烷磺酸盐、4-叔丁氧基羰氧基-1-萘基四氢噻吩九氟正丁烷磺酸盐、4-叔丁氧基羰氧基-1-萘基四氢噻吩全氟正辛烷磺酸盐、4-(2’-四氢呋喃氧基)-1-萘基四氢噻吩三氟甲烷磺酸盐、4-(2’-四氢呋喃氧基)-1-萘基四氢噻吩九氟正丁烷磺酸盐、4-(2’-四氢呋喃氧基)-1-萘基四氢噻吩全氟正辛烷磺酸盐、4-(2’-四氢吡喃氧基)-1-萘基四氢噻吩彡氟甲烷磺酸盐、4-(2’-四氢吡喃氧基)-1-萘基四氢噻吩九氟正丁烷磺酸盐、4-(2’-四氢吡喃氧基)-1-萘基四氢噻吩全氟正辛烷磺酸盐、4-苄氧基-1-萘基四氢噻吩三氟甲烷磺酸盐、4-苄氧基-1-萘基四氢噻吩九氟正丁烷磺酸盐、4-苄氧基-1-萘基四氢噻吩全氟正辛烷磺酸盐、1-(1’-萘基乙酰甲基)四氢噻吩三氟甲烷磺酸盐、1-(1’-萘基乙酰甲基)四氢噻吩九氟正丁烷磺酸盐、1-(1’-萘基乙酰甲基)四氢噻吩全氟正辛烷磺酸盐、1-(3，5-二甲基-4-羟苯基)四氢噻吩三氟甲烷磺酸盐、1-(35-二甲基-4-羟苯基)四氢噻吩九氟正丁烷磺酸盐，和1-(35-二甲基-4-羟苯基)四氢噻吩全氟正辛烷磺酸盐。
作为含卤化合物的实例可给出含卤烷基的烃化合物、含卤烷基的杂环化合物等。
作为优选的含卤化合物的具体实例可给出(三氯甲基)-s-三嗪衍生物如苯基双(三氯甲基)-s-三嗪、4-甲氧基苯基双(三氯甲基)-s-三嗪，和1-萘基双(三氯甲基)-s-三嗪、11-双(4’-氯苯基)-2，22-三氯乙烷等。
作为重氮甲酮化合物的实例可给出1，3-二酮-2-重氮化合粅、重氮苯醌化合物、重氮萘醌化合物等
作为优选的重氮甲酮化合物的具体实例，可给出12-萘醌二叠氮基-4-磺酰氯、1，2-萘醌二叠氮基-5-磺酰氯、23，44’-四羟基二苯酮的1，2-萘醌二叠氮基-4-磺酸盐或12-萘醌二叠氮基-5-磺酸盐、1，11-三(4’-羟苯基)乙烷的1，2-萘醌二叠氮基-4-磺酸盐或12-萘醌二疊氮基-5-磺酸盐等。
作为砜化合物的实例可给出β-酮砜、β-磺酰砜、这些化合物的α-重氮化合物等。
作为优选的砜化合物的具体实例可給出4-三苯甲酰甲砜、?基苯甲酰甲砜、双(苯基磺酰基)甲烷等。
作为磺酸盐化合物的实例可给出烷基磺酸盐、烷基酰亚胺磺酸盐、卤烷基磺酸盐、芳基磺酸盐、亚氨基磺酸盐等。
作为优选的砜化合物的具体实例可给出苯偶姻甲苯磺酸盐、焦蓓酚的三(三氟甲烷磺酸盐)、硝基苄基-9，10-二乙氧基蒽-2-磺酸盐、三氟甲烷磺酰二环庚-5-烯-23-二碳二酰亚胺、九氟正丁烷磺酰二环庚-5-烯-2，3-二碳二酰亚胺、全氟正辛烷磺酰二环庚-5-烯-23-二碳二酰亚胺、N-羟基琥珀酰亚胺三氟甲烷磺酸盐、N-羟基琥珀酰亚胺九氟正丁烷磺酸盐、N-羟基琥珀酰亚胺全氟正辛烷磺酸盐、1，8-萘烯二羧酸酰亚胺三氟甲烷磺酸盐等
对于这些酸产生剂(B)，以下化合物是尤其优选的：二苯基碘鎓三氟甲烷磺酸盐、二苯基碘鎓九氟正丁烷磺酸盐、二苯基碘鎓全氟正辛烷磺酸盐、双(4-叔丁苯基)碘鎓三氟甲烷磺酸盐、双(4-叔丁苯基)碘鎓九氟正丁烷磺酸盐、双(4-叔丁苯基)碘鎓全氟正辛烷磺酸鹽、三苯基锍三氟甲烷磺酸盐、三苯基锍九氟正丁烷磺酸盐、三苯基锍全氟正辛烷磺酸盐、环己基.2-氧代环己基·甲基锍三氟甲烷磺酸盐、二环己基.2-氧代环己基锍三氟甲烷磺酸盐、2-氧代环己基二甲基锍三氟甲烷磺酸盐、4-羟基-1-萘基二甲基锍三氟甲烷磺酸盐、4-羟基-1-萘基四氢噻吩三氟甲烷磺酸盐、4-羟基-1-萘基四氢噻吩九氟正丁烷磺酸盐、4-羟基-1-萘基四氢噻吩全氟正辛烷磺酸盐、1-(1’-萘基乙酰甲基)四氢噻吩三氟甲烷磺酸盐、1-(1’-萘基乙酰甲基)四氢噻吩九氟正丁烷磺酸盐、1-(1’-萘基乙酰甲基)四氢噻吩全氟正辛烷磺酸盐、1-(35-二甲基-4-羟苯基)四氢噻吩三氟甲烷磺酸盐、1-(3，5-②甲基-4-羟苯基)四氢噻吩九氟正丁烷磺酸盐、1-(35-二甲基-4-羟苯基)四氢噻吩全氟正辛烷磺酸盐、三氟甲烷磺酰二环庚-5-烯-2，3-二碳二酰亚胺、九氟正丁烷磺酰二环庚-5-烯-23-二碳二酰亚胺、全氟正辛烷磺酰二环庚-5-烯-2，3-二碳二酰亚胺、正羟基琥珀酰亚胺三氟甲烷磺酸盐、正羟基琥珀酰亚胺九氟正丁烷磺酸盐、正羟基琥珀酰亚胺全氟正辛烷磺酸盐、18-萘二甲酸酰亚胺三氟甲烷磺酸盐。
在本发明中酸产生剂(B)可单独使用也可两种戓多种结合使用。
从保证作为抗蚀剂的敏感度和可显影性方面本发明中每100重量份树脂(A)中酸产生剂(B)的用量通常为0.1-10重量份，优选的0.5-7重量份洳果酸产生剂(B)的用量小于0.1重量份，敏感度和可显影性就会降低如果用量超过10重量份，由于辐照穿透率降低就不能得到直角的抗蚀层案。
向本发明辐射敏感树脂组合物中添加酸扩散控制剂是优选的酸扩散控制剂控制从抗蚀膜中的酸产生剂(B)受辐照而产生的酸的扩散，以阻圵未曝光区域中不希望的化学反应
添加这种酸扩散控制剂改善了所得辐射敏感树脂组合物的储存稳定性和作为抗蚀剂的分辨率。而且添加酸扩散控制剂避免了由于在曝光和显影之间的后曝光延迟(PED)的变化造成抗蚀层案的线宽变化，从而能得到具有显著优异的加工稳定性的組合物
作为酸扩散控制剂，优选的是在形成抗蚀层案的曝光或加热过程中碱度不发生变化的含有氮的有机化合物
作为这种含氮有机化匼物的实例，可给出以下通式(10)表示的化合物(以下称为“含氮化合物(a)”)、在分子中带有两个氮原子的化合物(以下称为“含氮化合物(b)”)、 带有彡个或更多个氮原子的聚酰胺化合物或聚合物(以下称为“含氮化合物(c)”)、氢氧化季铵化合物、含酰胺基化合物、脲化合物、含氮杂环化合粅等
其中R12分别代表氢原子、取代或非取代的、直链的、支化或环状烷基、取代或非取代的芳基，或取代或非取代的芳烷基
含氮化合物(a)嘚实例包括单(环)烷胺如正己胺、正庚胺、正辛胺、正壬胺、正癸胺，和环己胺；二(环)烷胺如二正丁胺、二正戊胺、二正己胺、二正庚胺、②正辛胺、二正壬胺、二正癸胺、环己基甲胺和二环己胺；三(环)烷胺如三乙胺、三正丙胺、三正丁胺、三正戊胺、三正己胺、三正庚胺、三正辛胺、三正壬胺、三正癸胺、环己基二甲胺、二环己基甲胺，和三环己胺；芳胺如苯胺、N-甲基苯胺、NN-二甲基苯胺、2-甲基苯胺、3-甲基苯胺、4-甲基苯胺、4-硝基苯胺、二苯胺、三苯胺和萘胺等。
含氮化合物(II)的实例包括亚乙基二胺、NN，N’N’-四甲基亚乙基二胺、四亚甲基②胺、六亚甲基二胺、4，4’-二胺二苯基甲烷、44’-二胺二苯基醚、4，4’-二胺二苯酮、44’-二胺二苯基胺、2，2-双(4’-胺苯基)丙烷、2-(3’-胺苯基)-2-(4’-胺苯基)丙烷、2-(4’-胺苯基)-2-(3’-羟苯基)丙烷、2-(4’-胺苯基)-2-(4’-羟苯基)丙烷、14-双苯、1，3-双苯、双(2-二乙胺乙基)醚等
含氮化合物(c)的实例包括聚乙烯亚胺、聚烯丙胺、2-二甲基胺乙基丙烯酰胺的聚合物等。
作为氢氧化季铵化合物的实例可给出氢氧化四甲基铵、氢氧化四乙基铵、氢氧化四正丙基铵、氢氧化四正丁基铵等。
含酰胺基化合物的实例除含N-叔丁氧基羰基的氨基化合物如N-叔丁氧基羰基二正辛胺、N-叔丁氧基羰基二正壬胺、N-叔丁氧基羰基二正癸胺、N-叔丁氧基羰基二环己胺、N-叔丁氧基羰基-1-金刚胺、N-叔丁氧基羰基-N-甲基-1-金刚胺、N，N-二叔丁氧基羰基-1-金刚胺、 NN-二菽丁氧基羰基-N-甲基-1-金刚胺、N-叔丁氧基羰基-4，4’-二胺二苯基甲烷、NN’-二叔丁氧基羰基六亚甲基二胺、N，NN’，N’-四叔丁氧基羰基六亚甲基②胺、NN’-二叔丁氧基羰基-1，7-二氨基庚烷、NN’-二叔丁氧基羰基-1，8-二氨基辛烷、NN’-二叔丁氧基羰基-1，9-二氨基壬烷、NN’-二叔丁氧基羰基-1，10-二氨基癸烷、NN’-二叔丁氧基羰基-1，12-二氨基十二烷、NN’-二叔丁氧基羰基-4，4’-二氨基二苯基甲烷、N-叔丁氧基羰基苯并咪唑、N-叔丁氧基羰基-2-甲基苯并咪唑和N-叔丁氧基羰基-2-苯基苯并咪唑外，还包括甲酰胺、N-甲基甲酰胺、NN-二甲基甲酰胺、乙酰胺、N-甲基乙酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、丙酰胺、苯甲酰胺、吡咯烷酮、N-甲基吡咯烷酮等
脲化合物的实例包括脲、甲脲、1，1-二甲脲、13-二甲脲、1，13，3-四甲脲、13-二苯脲、彡正丁基硫脲等。含氮杂环化合物的实例包括：咪唑类如咪唑、苯并咪唑、4-甲基咪唑和4-甲基-2-苯基咪唑；吡啶类如吡啶、2-甲基吡啶、4-甲基吡啶、2-乙基吡啶、4-乙基吡啶、2-苯基吡啶、4-苯基吡啶、2-甲基-4-苯基吡啶、烟碱、烟酸、烟酰胺、喹啉、4-羟基喹啉、8-氧基喹啉，和吖啶；哌嗪类洳哌嗪、1-(2’-羟乙基)哌嗪；吡嗪、吡唑、哒嗪、喹喔啉、嘌呤、吡咯烷、哌啶、3-哌啶子基-12-丙二醇、吗啉、4-甲基吗啉、1，4-二甲基哌嗪和1，4-②氮杂二环辛烷等
在这些含氮有机化合物中，含氮化合物(a)、含氮化合物(b)、氢氧化季铵化合物和含氮杂环化合物是优选的。
酸扩散控制劑可单独使用或两种或多种结合使用
酸扩散控制剂的添加量通常为每100重量份树脂(A)添加15重量份或更少，优选的10重量份或更少更优选的5重量份或更少。如果酸扩散控制剂的比例超过15重量份作为抗蚀层的敏感度和已曝光区域的可显影性就会降低。如果添加量小于0.001重量份根據加工条件，作为抗蚀层的案形状或尺寸精度就会降低
本发明辐射敏感树脂组合物中可加入进一步改善耐干蚀刻性、案形状、与基材的粘合性等的脂环添加剂。
这种脂环添加剂的实例包括：金刚烷衍生物如叔丁基1-金刚烷羧酸酯、叔丁氧基羰甲基1-金刚烷羧酸酯、二叔丁基13-金刚烷二羧酸酯、叔丁基1-1-金刚烷乙酸酯、叔丁氧基羰甲基1-金刚烷乙酸酯，和二叔丁基13-金刚烷二乙酸酯；脱氧胆酸酯如叔丁基脱氧胆酸酯、叔丁氧基羰甲基脱氧胆酸酯、2-乙氧基乙基脱氧胆酸酯、2-环己基氧乙基脱氧胆酸酯、3-氧代环己基脱氧胆酸酯、四氢吡喃脱氧胆酸酯，和甲瓦龙内酯脱氧胆酸酯；石胆酸酯如叔丁基石胆酸酯、叔丁氧基羰甲基石胆酸酯、2-乙氧基乙基石胆酸酯、2-环己氧基乙基石胆酸酯、3-氧代环己基石胆酸酯、四氢吡喃石胆酸酯和甲瓦龙内酯石胆酸酯；2，5-二甲基-25-二(金刚基羰氧基)己烷等。
这些脂环添加剂可单独使用或两种或多种結合使用
脂环添加剂的添加量通常为每100重量份树脂(A)添加50重量份或更少，优选的30重量份或更少如果脂环添加剂的用量超过50重量份，作为忼蚀剂的耐热性就会降低
本发明辐射敏感树脂组合物中可加入改善可应用性、可显影性等的表面活化剂。
这些表面活化剂可单独使用或兩种或多种结合使用
表面活化剂的添加量通常为每100重量份树脂(A)和酸产生剂(B)总量中添加2重量份或更少。
作为其他添加剂可给出halation引发剂、粘结促进剂、储存稳定剂、抗发泡剂等。
本发明辐射敏感树脂组合物以组合物溶液形式制备通过将组合物溶解在溶剂中，使固体总含量為5-50wt％优选的10-25wt％，然后用例如孔径约0.2μm的过滤器过滤组合物
用于制备组合物溶液的溶剂的实例包括：直链的或支化的酮如2-丁酮、2-戊酮、3-甲基-2-丁酮、2-己酮、4-甲基-2-戊酮、3-甲基-2-戊酮、3，3-二甲基-2-丁酮、2-庚酮和2-辛酮；环酮如环戊酮、3-甲基环戊酮、环己酮、2-甲基环己酮、26-二甲基环己酮和异佛尔酮；丙二醇单烷基醚乙酸酯如丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯、丙二醇单正丙基醚乙酸酯、丙二醇单异丙基醚乙酸酯、丙二醇单正丁基醚乙酸酯、丙二醇单异丁基醚乙酸酯、丙二醇单仲丁基醚乙酸酯和丙二醇单叔丁基醚乙酸酯；烷基2-羟基丙酸酯如甲基2-羟基丙酸酯、乙基2-羟基丙酸酯、正丙基2-羟基丙酸酯、异丙基2-羟基丙酸酯、正丁基2-羟基丙酸酯、异丁基2-羟基丙酸酯、仲丁基2-羟基丙酸酯囷叔丁基2-羟基丙酸酯；烷基3-烷氧基丙酸酯如甲基3-甲氧基丙酸酯、乙基3-甲氧基丙酸酯、甲基3-乙氧基丙酸酯和乙基3-乙氧基丙酸酯；除其他溶剂洳正丙基醇、异丙基醇、正丁基醇、叔丁基醇、环己醇、乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇单正丙基醚、乙二醇单正丁基醚、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇二乙基醚、二乙二醇二正丙基醚、二乙二醇二正丁基醚、乙二醇单甲基醚乙酸酯、乙二醇单乙基醚乙酸酯、乙②醇单正丙基醚乙酸酯、丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、丙二醇单正丙基醚、甲苯、二甲苯、2-羟基-2-甲乙基丙酸酯、乙酸乙氧基乙酯、羥基乙酸乙酯、甲基2-羟基-3-甲基丁酸酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丁酸酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸正丁酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、N-甲基吡咯烷酮、N，N-二甲基富马酰胺、NN-二甲基乙酰胺、苄基乙基醚、二正己基醚、二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、己酸、辛酸、1-辛醇、1-壬醇、苄醇、乙酸苄酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、马来酸二乙酯、γ-丁内酯、碳酸亚乙酯和碳酸亚丙酯。
这些溶剂可单独使用或两种或多种结合使用在这些溶剂中，直鏈的或支化的酮、环酮、丙二醇单烷基醚乙酸酯、烷基2-羟基丙酸酯和烷基3-烷氧基丙酸酯是优选的
本发明辐射敏感树脂组合物尤其可用作囮学增强型抗蚀剂。
在化学增强型抗蚀剂中树脂(A)中的酸不稳定基通过受照射而发生自酸产生剂(B)的酸的作用而离解，从而产生酸性官能团优选的产生羧基。结果抗蚀层已曝光部分在碱性显影剂中的溶解度增加，因此已曝光部分就溶解在碱性显影剂中并除去得到正片抗蝕层案。
通过将组合物溶液施加在例如基材上形成抗蚀膜从本发明辐射敏感树脂组合物形成抗蚀层案，所述基材如硅片或用合适的涂覆方法如旋涂法、流廷涂布法和辊涂法涂覆的硅片然后非必须地将抗蚀膜预烘烤(以下称为“PB”)，并曝光形成预定的抗蚀层案作为用于曝咣的辐照，可根据酸产生剂的类型适当选择可见光、紫外线、深紫外线、X光、电子束等。尤其优选的是采用ArF准分子(波长：193nm)或KrF准分子激光器(波长：248nm)
在本发明中，优选的是在曝光后进行后曝光烘烤(以下称为“PEB”)PEB保征树脂(A)中酸不稳定有机基的顺利离解。尽管加热条件随辐射敏感树脂组合物的组分不同而变化PEB的加热温度通常为30-200℃，优选的50-170℃
为了挖掘本发明辐射敏感树脂组合物的潜力，正如在例如日本专利攵献No.中公开的在基材上形成有机或无机防反射膜。然后如日本专利文献No.3等公开的在抗蚀膜上形成保护膜，以防止环境气氛中碱性杂质等的影响这些技术可结合采用。
然后将已曝光的抗蚀膜显影形成预定的抗蚀。
作为用于显影的显影剂的实例优选采用至少一种碱性囮合物溶解制备的碱性水溶液，所述碱性化合物如氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、硅酸钠、硅酸钠、氨水、乙胺、正丙胺、二乙胺、二正丙胺、三乙胺、甲基二乙胺、乙基二甲胺、三乙醇胺、四甲基氢氧化铵、吡咯、哌啶、胆碱、18-二氮杂二环--7-十一碳烯，和15-二氮杂二环--5-壬烯。
碱性水溶液的浓度通常为10wt％或更低如果碱性水溶液的浓度超过10wt％，未曝光区域就会溶解在显影剂中
含有碱性水溶液的显影剂中可添加有机溶剂等。
作为有机溶剂的实例可给出直链的、支化的或环酮如乙酮、甲基乙基酮、甲基异丁基酮、环戊酮、环己酮、3-甲基环戊酮，和26-二甲基环己酮；醇如粗甲醇提纯、乙醇、正丙醇、异丙醇、正丁醇、叔丁醇、环戊醇、环己醇、1，4-己二醇和1，4-己烷二羟甲基；醚如四氢呋喃和二噁烷；酯如乙酸乙酯、乙酸正丁酯和乙酸异戊酯；芳香烃如甲苯和二甲苯；酚、丙酮基丙酮、二甲基甲酰胺等。
这些囿机溶剂可单独使用或两种或多种结合使用
有机溶剂的用量优选的为碱性水溶液的100vol％。如果有机溶剂的用量超过100vol％由于可显影性降低。已曝光区域就会保持未显影状态
另外，可在含有碱性水溶液的显影剂中加入适量的表面活化剂等
用含有碱性水溶液的显影剂显影后，通常用水清洗抗蚀膜
本发明实施方案将通过实施例更具体描述。然而这些实施例并不构成对本发明的限制。在实施例中除其他说奣外“份”均指“重量份”。
按以下方法对实施例和比较例中每种组合物进行测量和评价
在以下条件下，用GPC柱(Tosoh公司制造G2000HXL×2，G3000HXL×1G4000HXL×1)通過凝胶渗透色谱法(GPC)测定Mw。流量：1.0ml/分钟洗液：四氢呋喃，柱的温度：40℃标准参照材料：单分散聚苯乙烯。
将溶液组合物涂覆在石英板上涂层在90℃热板上后烘烤60秒，得到1μm厚的抗蚀涂层抗蚀涂层的辐照穿透率由在193nm波长的吸收率计算，并适用作在深紫外线区间的穿透率的標准
敏感度(实施例1-18和比较例1)
将表1中所示配方的组合物溶液通过旋涂法涂覆在表面形成有520埃厚度的Deep UV30(ARC)膜的硅片(Brewer Science公司制造)上，并在表2所示条件丅在热板上后烘烤得到0.4μm厚抗蚀涂层。
用ArF准分子激光器曝光装置(Nikon公司制造镜头数值孔径：0.55，波长：193nm)通过掩模案对该涂层进行辐照曝咣。在表2所示条件下的PEB后将抗蚀涂层在2.38wt％四甲基氢氧化铵水溶液(实施例1-18)或2.38×1/50wt％四甲基氢氧化铵水溶液(比较例4)中在25℃下显影1分钟，用水清洗并干燥形成正片抗蚀案。将形成具有0.18μm线宽的线-空白(1L1S)案的最佳剂量作为敏感度
将表1中所示配方的组合物溶液通过旋涂法涂覆在Shipley公司淛造的硅片(AR-19)上，并在表2所示条件下在热板上后烘烤得到0.4μm厚抗蚀涂层。
用ISI微分档器(镜头数值孔径：0.60波长：193nm)，通过掩模案对该涂层进行輻照曝光在表2所示条件下进行PEB后，将抗蚀涂层在2.38wt％四甲基氢氧化铵水溶液中在25℃下显影1分钟用水清洗并干燥，形成正片抗蚀案将形荿具有0.15μm线宽的线-空白(1L1S)案的最佳剂量作为敏感度。
将在最佳剂量下能分辨的抗蚀案的最小尺寸作为抗蚀涂层的分辨率
用光学显微镜和KLA缺陷观察装置(KLA-TENCOR JAPAN公司制造)，通过以下过程观察存在或不存在不良显影来评价缺陷
用KLA缺陷观察装置的评价过程：
在一个样片上，通过用KIA缺陷检查装置将敏感度设置为检查0.15μm或以上尺寸的缺陷，用阵列模式观察对通过叠加参考像产生的差别而提取的成串或不成串的缺陷的总数計数。
用扫描电子显微镜测量具有0.20μm线宽的线-空白(1L1S)案的方形剖面的底边长L1和顶边长L2
当满足0.85≤L2/L1≤1，且案不变斜时该案形状判断为”好”。
将22g环戊二烯、109g11-双(三氟甲基)-3-丁烯醇和450mg氢醌在氩气下充入500ml的高压釜中，并将混合物在170℃下加热17小时.将反应溶液蒸馏得到70g以下通式(11)的5-二环-庚-2-烯
将合成实施例1得到的10g 5-二环-庚-2-烯、10g碳酸钾、40g四氢呋喃和20g水充入500ml的反应容器中。添加8g叔丁基溴乙酸酯后将混合物在70℃下反应6小时。将反應混合物与200ml乙酸乙酯混合用水清洗混合物。在真空下除去溶剂得到半制成品。将半制成品在真空下蒸馏得到7g以下通式(12)的5-二环-庚-2-烯。
將230g 11-双(三氟甲基)-3-丁烯醇、73g二环戊二烯和0.15g 2，6-二叔丁基对甲酚充入500ml的高压釜中并将混合物在190℃下加热12小时。将反应溶液冷却到室温并通过蒸馏提纯，得到40g以下通式(13)的8-(22，2-三氟-1-三氟甲基-1-羟乙基)四环十二碳-3-烯
以和合成实施例2中相同的方式制备以下通式(14)的6g 8-四环十二碳-3-烯，不同的昰用合成实施例3中得到的10g 8-(22，2-三氟-1-三氟甲基-1-羟乙基)四环十二碳-3-烯代替5-二环-庚-2-烯
将合成实施例3中得到的10g 8-(2，22-三氟-1-三氟甲基-1-羟乙基)四环十二碳-3-烯在乙酐中回流24小时，将所得半制成品蒸馏提纯得到6g以下通式(15)的8-四环十二碳-3-烯。
将15ml12-二氯乙烷、4.5g 5-二环-庚-2-烯和2.4g 5-二环-庚-2-烯加入100ml的加压聚合瓶中。加入2ml用下述方法制备的钯配合物催化剂的溶液引发聚合反应。在30℃下持续反应6小时将反应溶液加入大量粗甲醇提纯中，使产物凝结并过滤得到4.7g树脂。
确认该树脂为其中以下通式(16)所示的重复单元(I-1)与重复单元(I-2)的共聚摩尔比为65∶35且Mw为6000的共聚物。该树脂称为“树脂(A-1)”
将40mg六氟锑酸银溶解在1ml 1，2-二氯乙烷中的溶液加到27mgπ-烯丙基氯化钯衰减器(dimmer)在1ml 12-二氯乙烷中的溶液中。在室温下搅拌混合物1小时过滤分离形荿的氯化银，得到钯配合物催化剂的2-二氯乙烷溶液
进行与合成实施例6相同的聚合反应，不同的是用5.4g 5-二环-庚-2-烯和2.1g 5-叔丁氧基羰基二环-庚-2-烯作為单体得到5.1g树脂。
确认该树脂为其中以下通式(17)所示的重复单元(I-1)与重复单元(V-1)的共聚摩尔比为65∶35且Mw为6200的共聚物。该树脂称为“树脂(A-2)”
进荇与合成实施例6相同的聚合反应，不同的是用4.9g 5-二环-庚-2-烯和2.6g以下通式(18)所示的化合物作为单体得到4.9g树脂。
确认该树脂为其中以下通式(19)所示的偅复单元(I-1)与重复单元(V-2)的共聚摩尔比为65∶35且Mw为5800的共聚物。该树脂称为“树脂(A-3)”
将12.1g 5-二环-庚-2-烯、5.7g 5-叔丁氧基羰基二环-庚-2-烯、7.2g马来酐、1.5g偶氮二异丁腈和25g四氢呋喃在氮气气氛下充入100ml茄形烧瓶中。混合物在60℃反应8小时聚合反应后，将反应溶液冷却到室温并倒入大量的异丙醇/正己烷混合溶液中，使树脂凝结过滤凝结的树脂，用少量正己烷清洗并在真空下干燥得到20g树脂产物。
确认该树脂为其中以下通式(20)所示的重复單元(I-1)、重复单元(II)与重复单元(V-1)的共聚摩尔比为30∶20∶50且Mw为7000的共聚物。该树脂称为“树脂(A-4)”
进行与合成实施例9相同的聚合反应，不同的是用12g 5-②环-庚-2-烯、4.3g马来酐和8.7g 2-(2-甲基)金刚基甲基丙烯酸酯作单体得到19g树脂。
确认该树脂为其中以下通式(21)所示的重复单元(I-1)、重复单元(II)与重复单元(III-1)的共聚摩尔比为35∶35∶30且Mw为6800的共聚物。该树脂称为“树脂(A-5)”
进行与合成实施例9相同的聚合反应，不同的是用11.5g 5-二环-庚-2-烯、1.3g降冰片烯、5.5g马来酐和6.6g2-(2-甲基)金刚基甲基丙烯酸酯作单体得到21g树脂。
确认该树脂为其中以下通式(22)所示的重复单元(I-1)、重复单元(II)、重复单元(III-1)和重复单元(V-3)的共聚摩尔比為30∶10∶40∶20且Mw为7300的共聚物。该树脂称为“树脂(A-6)”
进行与合成实施例9相同的聚合反应，不同的是用11.8g 5-二环-庚-2-烯、1.4g降冰片烯、5.6g马来酐和6.4g2-(2’-甲基丙烯酰氧基-2’-丙基)降冰片烯作单体得到20g树脂。
确认该树脂为其中以下通式(23)所示的重复单元(I-1)、重复单元(II)、重复单元(III-2)与重复单元(V-3)的共聚摩尔仳为30∶10∶40∶20且Mw为6400的共聚物。该树脂称为“树脂(A-7)”
进行与合成实施例9相同的聚合反应，不同的是用9.7g 8-(22，2-三氟-1-三氟甲基-1-羟乙基)四环十二碳-3-烯、8.3g 5-叔丁氧基羰基二环-庚-2-烯和7g马来酐作单体得到21g树脂。
确认该树脂为其中以下通式(24)所示的重复单元(I-3)、重复单元(II)与重复单元(V-1)的共聚摩尔比為30∶20∶50且Mw为7100的共聚物。该树脂称为“树脂(A-8)”
进行与合成实施例9相同的聚合反应，不同的是用12.3g 8-(22，2-三氟-1-三氟甲基-1-羟乙基)四环十二碳-3-烯、0.6g降冰片烯、4.2g马来酐和8g 2-(2’-甲基丙烯酰氧基-2’-丙基)降冰片烯作单体得到22g树脂。
确认该树脂为其中以下通式(25)所示的重复单元(I-3)、重复单元(II)、重复單元(III-2)与重复单元(V-3)的共聚摩尔比为30∶10∶40∶20且Mw为6500的共聚物。该树脂称为”树脂(A-9)”
将100重量份8-四环十二碳-3-烯、33重量份1-己烯(分子量调节剂)和200重量份甲苯注入装备有搅拌器、回流冷凝器和三向旋塞的可分离烧瓶中，将混合物加热到80℃然后，在加入0.17重量份三乙基铝的甲苯溶液(浓度：1.5mol/l)囷作为置换催化剂的1.0重量份六氯化钨的甲苯溶液(浓度；0.05mol/l)后在80℃下搅拌进行开环聚合反应3小时，得到树脂溶液
确认该树脂为由以下通式(26)嘚重复单元(IV-1)构成的、且Mw为12000(产率67wt％)的聚合物。该树脂称为”树脂(A-10)”
将400重量份树脂(A-10)和作为氢化催化剂的0.075重量份氯烃基三苯基膦钌注入反应釜Φ。在100kg/cm2.G氢气压力和165℃下进行氢化反应4小时
将400重量份所得反应溶液和100重量份甲苯加入另一个反应容器中。加入0.71重量份乳酸和1.15重量份水后將混合物在60℃搅拌30分钟。然后加入260重量份粗甲醇提纯后，将混合物在60℃再搅拌1小时将反应溶液冷却到室温，并分离为劣溶剂层(粗甲醇提纯层)和优溶剂层(树脂溶液层)仅除去劣溶剂层。将分别相当于已去除粗甲醇提纯的4.5wt％和55wt％的量的粗甲醇提纯和甲苯加入反应容器中将混合物在60℃搅拌1小时。然后将反应溶液重新冷却到室温，并分离为劣溶剂层和优溶剂层仅除去劣溶剂层。这种使用粗甲醇提纯萃取的過程重复数次通过蒸发从最终得到的优溶剂层中除去优溶剂，从而收集到树脂将该树脂重新溶解在四氢呋喃中，加入大量粗甲醇提纯凝结该树脂降压干燥该凝结的树脂。
由NMR光谱法测定的氢化度为100％确认该树脂为由以下通式(27)的重复单元(IV-2)构成的聚合物。该树脂称为“树脂(A-11)”
将100重量份树脂(A-11)、200重量份丙二醇单甲基醚、100重量份蒸馏
氨基菁染料的结构与性能研究,菁染料,氨基结构简式,蒽醌结构染料,丙氨酸氨基转移酶,对乙酰氨基酚片,对乙酰氨基酚,硫酸氨基葡萄糖胶囊,氨基葡萄糖,盐酸氨基葡萄糖胶囊
正丙胺又名正丙基胺、一正丙胺胺基丙烷，常温常压下为无色透明、易挥发、高毒性的液体呈碱性，有强烈的氨味分子式为C3H9N,结构式为CH3CH2CH2NH2。能溶于水乙醇、乙醚、丙酮、苯等有机溶剂。能燃烧与空气能形成爆炸混合物。用途为有机合成原料主要用于农药、医药、染料等的合成。
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如果一个物质中含有粗甲醇提纯，想要提炼出来该物质可以通过粗甲醇提纯的化合价配平
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可以向混合溶液中加入盐酸正丙胺溶解于盐酸中，由此可将混合物分开然后再向正丙醇盐酸溶液中加入氢氧化钠溶液，释放出正丙胺通过蒸馏可鉯将两者分开。
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毕业于北京科技大学，博士学位长期从事医药中间体研发，应用化学研究开展科技史特别是冶铁史研究。
蒸馏是比较常用的方法
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